中古 ZYGO Verifire XL #293607054 を販売中
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ZYGO Verifire XLは、高性能製造のために設計されたラインマスクおよびウェーハ検査装置のトップです。機能と機能のその広い範囲で、Verifire XLは、すべての検査で信頼性の高い正確な結果を与えることが確実です。このシステムは、高精度の1ミクロン分解能ユニットを含むいくつかの機能を提供し、マスクやウエハ上のパターンを最小限の歪みで詳細に分析することができます。さらに、このマシンは表面スキャン機能を提供し、表面上の3D構造の検査を可能にします。さらに、最小線幅50nmのサンプルの微細な特徴を検出し、正確に測定できる高速スキャンツールを提供します。ZYGO Verifire XLには、検査アルゴリズムの豊富なライブラリも含まれており、コンタクトピット、回折構造、レーザー構造など、さまざまなサンプルを検査することができます。このアルゴリズムは、高いレベルのデータ整合性を提供し、スキャン結果を簡単に再現できます。また、ビジュアルインタフェースとマシンインタフェースの両方の通信サポートを提供し、自動処理または検査システムへの容易な統合を可能にします。また、画像補正・研磨、穴サイズ検出、歪み解析など、幅広い画像処理機能を備えています。これにより、ユーザーは、信頼性と効率的な生産プロセスを確保するために、自分のマスクやウェーハの特性を理解することができます。さらに、機器には欠陥リストが含まれており、マスクまたはウェーハの欠陥の原因に関する情報を提供します。Verifire XLは、最大2つのプローブを装備し、蛍光と暗視野の照明オプションを統合することができます。これにより、ユーザーは地形的欠陥と機能的欠陥を区別し、パターンを下部構造まで正確に分析することができます。全体として、ZYGO Verifire XLは、高性能マスクとウェーハの検査と製造に最適です。このシステムは信頼性と正確な結果を提供し、幅広い機能と機能を備えています。ユーザーは、この高度な検査ユニットの助けを借りて、欠陥を迅速に調査し、特徴を測定し、サンプル内の関連する特徴を特定することができます。
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