中古 ZYGO Verifire MST #293633210 を販売中
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ZYGO Verifire MSTは、主に半導体業界で使用するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。精密光学イメージングと計測技術を駆使し、比類のない目視検査機能を提供します。Verifire MSTは、スキャン電子顕微鏡(SEM)と高度なパターン認識アルゴリズムを統合して、マスク、ウェーハ、およびその他の表面の欠陥を迅速かつ効果的に正確に識別します。精密な光学イメージングマシンを内蔵しており、パターンや質感、特徴を極めた精度の高いサンプルに集中することができます。このイメージング技術は、複数の波長を利用してサンプルの複合画像を提供し、高度な欠陥検出を実現します。ZYGO Verifire MSTは、広範囲のマスクおよびウエハータイプの欠陥を正確に検出するための大量のデータの制御および分析を提供します。その特徴は、サンプルの位置決めと動作のための4軸ステージ、自動ウェハカセットローダーとアンローダー、および各サンプルの高精度測定のための自動キャリブレーターです。このツールのソフトウェアには、サンプル内の欠陥を自動的に検出するパターン認識モジュールなど、さまざまな検査ツールが含まれています。ソフトウェアはまた、データの高度な統計分析とユーザーインターフェイスの完全な制御を提供します。ソフトウェアは、詳細な欠陥要約レポートやその他の欠陥解析レポートを生成することができます。さらに、Verifire MSTは、計測や清浄度分析の残留イメージング、欠陥確率を判定するための欠陥分類ツール、弱いリンクを識別するためのマスク断層検出モジュールなど、サンプルのプロセスと評価のためのさまざまな補足機能も提供します。ZYGO Verifire MSTは、大量のデータを素早くスキャンすることができ、人間の介入がほとんどない不具合を正確に検出できます。優れた光学イメージング技術により、マスクおよびウエハサンプルの迅速かつ正確な分析が可能になり、欠陥解析および統計解析ツールは、効率的な製造作業を容易にするための詳細なレポートを提供します。
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