中古 ZYGO Verifire AT #9222106 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9222106
ヴィンテージ: 2002
Interferometer
OS: Windows 10 64 bit
Measurement capability: Measures surface & transmitted wavefront
Measurement techniques: Vibration tolerant phase shifting interferometry
Alignment system: 2-Spot with reticle with 2° capture range
Test beam diameter: 4" (102 mm)
Optical centerline: 4.25" (108 mm)
Laser source: Un-stabilized 633 nm HeNe, Class IIIa
Camera resolution: 1000 x 1000 Pixels
Shutter speed shortest: 20µs
Digitization: 10 bits
Image resolution: 400 µm Over entire FOV (Optically limited)
Image distortion: Up to 2% over entire focusing range
Focus range: ±2 Meters
Mounting configurations: Horizontal / Vertical
Performance:
RMS Repeatability: <0.5 nm RMS 2 - With NO averaging
RMS Wavefront repeatability: <0.4 nm RMS 2 - With NO averaging
Fringe resolution / Slope: >1.5 Fringes/mm / > 150 fringes across aperture
Retrace error @ maximum fringes: 0.13 Waves
Operating environment:
Temperature: 15° to 30°C (59 to 86F)
∆T/∆t: <1.0 °C/15 min
Humidity: 5 - 95% Relative, non-condensing
Vibration isolation: Isolation system recommended for PSI
2002 vintage.
ZYGO Verifire ATは、マスクとウェーハ検査のための高度なツールです。ウェーハ、マスク、その他の平坦な試料などの透明で反射的な表面の高性能分析を提供します。Verifire ATは、精密工学、最先端の光学、および高度な制御システムの交差点の製品です。直感的なユーザーインターフェイスを備えており、初心者でも上級者でも簡単に操作できます。ZYGO Verifire ATは、光画像装置と自動検査コントローラを組み合わせたものです。中央光学イメージングシステムは、特許取得済みの高圧エアーベアリング顕微鏡を採用しており、直径220mmまでの試料のサブミクロン分解能を提供します。この顕微鏡は2つの独立した軸を使用してステレオイメージングを提供し、一般的に従来の光学顕微鏡よりも高い精度と正確な画像を生成します。ステレオイメージングには2つの別々の画像が必要なため、Verifire ATは特許取得済みのデュアルバレッターユニットを使用しており、画像ステッチの必要がありません。自動化された検査コントローラにより、検査プロセスを完全に自動化できます。具体的には、ZYGO Verifire ATは自動化されたステップ&リピート、ポストプロセッシング、およびキャリブレーション機能を提供します。自動化されたステップ&リピートにより、ユーザーはサンプルの一連の画像を迅速かつ正確にキャプチャできます。後処理機能には、コントラスト最適化と自動欠陥検出が含まれており、どちらもデュアルバレッターエフェクトの使用によって大幅に簡素化されています。最後に、Verifire ATは、画像が適切にスケーリングされ、整列され、焦点が合わされていることを確認するために、複数の完全自動校正ツールを提供します。ZYGO Verifire ATはまた、サンプルの詳細な特徴を測定する必要がある人のための高精度のマイクロメーター測定機を備えています。このマイクロメータツールは、ユーザーインターフェイスに直接統合されており、迅速な測定と正確な結果を提供します。最後に、Verifire ATはスケーラブルに設計されています。これは、個々のユーザーのニーズに合わせて簡単に適応することができます。モジュール設計により、ユーザーは必要なコンポーネントのみを購入してインストールできるため、簡単なカスタマイズとアップグレードが可能です。ZYGO Verifire ATは、汎用性と信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査資産です。精密なイメージングと徹底した検査を最小限に抑えることができます。使いやすいインターフェース、拡張性、正確な測定モデルにより、Verifire ATはあらゆる検査ラボに最適なツールです。
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