中古 ZYGO PTI-01 #9238260 を販売中
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ZYGO PTI-01は、自動ウェーハおよびマスク検査システムです。このツールは、マスクまたはウェーハの幅広い光学画像を事前に定義されたテンプレートと比較するために使用されます。このシステムは、製造工程で問題を引き起こす可能性のある画像の不規則性を検出するように設計されています。マスクやウエハーの潜在的な欠陥の早期発見に役立つ高度な精密機器です。PTI-01は、ウェーハやマスクを検討するために、さまざまな自動光学およびイメージング技術を採用しています。これは、マスクまたはウェーハイメージの情報をキャプチャするために回折光要素(DOE)を使用します。これらの画像は、CAI (Computer Aided Imaging)とQIA (Quantitative Image Analysis)を使用して保存および分析されます。CAIは、画像とリファレンステンプレートを比較して、マスクまたはウェーハの欠陥や不純物を検出するために使用されます。これは、欠陥領域、見かけのサイズ、欠陥の重大度などの測定を行うことによって行われます。QIAは、顕微鏡、色の異常、欠陥の種類など、画像の不規則性をさらに分類するために使用されます。さらに、ZYGO PTI-01は、いくつかの高度な光学技術を利用しています。これらには、画像サンプリング、フォトメトリー、マイクロリソグラフィー、干渉計が含まれます。画像サンプリングは、正確な画像解析を行うために、マスクまたはウェーハの高解像度画像を生成するために使用されます。フォトメトリーは、画像のさまざまな領域における光強度の正確な測定を可能にします。マイクロリソグラフィーは、製造工程により画像の歪みを検出するために使用されます。最後に、PTI-01は干渉計を使用して、ウェーハまたはマスクの表面の不規則性を測定します。ZYGO PTI-01は、マスクやウェーハを効率的に検査するための強力なツールです。その高度なイメージング技術により、マスクまたはウェーハ画像を非常に正確かつ包括的に分析できます。このシステムは、顕微鏡的な位置ずれ、欠落しているフィーチャー、および表面異常などの欠陥を検出することができます。また、これらの欠陥を重症度に基づいて分類することもできます。これにより、メーカーは可能な限り迅速かつ効率的に潜在的な問題を特定することができます。このように、PTI-01はマスクやウェーハの製造における品質管理のための貴重なツールです。
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