中古 ZYGO NewView Maxim GP #156895 を販売中

ZYGO NewView マキシムGPは、半導体業界の厳しい要件を満たすように設計された包括的なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高スループット環境でのマスクまたはウェーハサンプルの急速に変化するパラメータを測定するように設計されています。このユニットは、強力なレーザー干渉計とデジタルイメージングマシンの周りに構築されており、どちらも正確に制御され、簡単に校正することができます。レーザー干渉計は、サンプル上の点間の高さの差を測定することにより、サンプルの3次元微細構造を評価します。これにより、幅広いサンプルサイズにわたって線幅やパターン忠実度などの重要な特性を正確に測定できます。このツールのデジタルイメージングコンポーネントは、色分けされたオーバーレイを使用して、エネルギー吸収や光透過率などの他の特性を評価します。アセットには、さまざまなクラスのサンプルの検査プロセスを最適化するためのさまざまな設定が含まれています。これらには、発生角度、ビーム倍率、焦点深度の調整が含まれます。さらに、ユーザーは、特定のサンプルに必要な強度または相関の程度を調整することができます。ZYGO MAXIM GPには、検査ごとに収集されたデータを分析するための高度なソフトウェアツールが含まれています。このソフトウェアを使用すると、さまざまな種類のサンプル、プロセス、およびインストゥルメントの結果を簡単に比較できます。また、FFTやオーバーレイなどの高度な分析ツールも備えており、オペレータはサンプルの欠陥をすばやく特定できます。このモデルは、安全性と利便性を重視して設計されています。保護エンクロージャは、レーザー/ビーム放射からオペレータを保護し、機器の安全性は定期的にインターロックと外部センサーでテストされます。機械のすべての部品はアクセスし易く、維持か取り替えのためにすぐに取除くことができます。さらに、システムは高速かつ効率的に設計されており、平均スキャン時間は1分未満です。NewView マキシムGPは、高度で包括的なマスクおよびウェーハ検査ユニットで、高いスループット条件下で優れたデータ精度と堅牢なパフォーマンスを提供します。その高度なコンポーネントは優れたイメージング機能を提供し、サンプルの重要なパラメータを迅速かつ正確に測定できます。さらに、その最適化された機能、安全機能、使いやすさは、迅速で正確で信頼性の高い検査を求める半導体業界の専門家にとって理想的な選択肢です。