中古 ZYGO NewView 7300 #9276460 を販売中
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ID: 9276460
3D Optical profiling system
Stage, 8"
Mega pixel camera:
Automated 3-position multiple system
With 1.0x Zoom lens
Low noise
Large field
Digital closed loop piezo scanning
Transducer
Capacitive: 150 Micron scan
Illuminator with LED
Accommodates objectives: 1x - 100x
Extended scan, 20 mm
Vertical res: < 0.1 nm
RMS Repeatability: < 0.01 nm
Accessory:
6-Axis Base stage
Motorized Tip / tilt: X / Y / Z and theta included
Travel:
X / Y, 8"
Z, 4"
Rotation: +/- 90 Degree
PR travel: +/- 4 Degree
Options / Accessories:
Part number / Description
6300-0459-01 / Electronics, Power Kit 110/120 VAC (US) Included base system
6300-0650-02 / Manual encoded turret (4-Pos) (NV 600 / 700 / 6000 / 7000)
6300-0526-02 / Accessory: 2.0x Field zoom lens
6300-0522-02 / Accessory: 0.5x Field zoom lens
6300-0593-01 / Objective: 5x Michelson objective
6300-0595-01 / Objective: 20x AF Objective
6300-0597-01 / Objective: 50x Objective, thermally compensated
1840-700-105 / Vibration isolation table, 24 x 24 x 30 (LWH)
6300-2080-01 / Workstation table
6300-3434-01 / Workstation table, 1840-700-105 (NV 5000, 6000 and 7000 Series) / 1840-700-015 (GPI, MESA)
1776-666-012 / Accessory, SiC precision reference flat (30 mm Diameter)
1670-000-020 / Accessory, standard lateral calibration
1776-666-010 / Accessory, standard step height standard 1.75 um.
ZYGO NewView 7300は、マスクメーカーや半導体メーカーに堅牢で信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションを提供するために開発されたハイエンドマスクおよびウェハ検査装置です。それは複数の最先端の部品から成っている完全なウェーハおよびマスクの点検システムです。マスク、シリコンウェーハ、フラットパネルなどの高速イメージングに対応する、高度で精密な光学サブシステムを備えています。光学構成は、4つの明るいパルス波長1mmのLEDを使用して、感度と広い視野を拡大します。さらに、このマシンはZYGO専用の特殊光学エンジンを使用してウェーハカバレッジを最大化しています。ZYGO NEW VIEW 7300は、32ビットのデュアルコアプロセッサであり、512 MBのRAMを搭載しているため、サブミクロン分解能と速度を実現し、大容量ダイジオメトリのハイスループットスクリーニングと解析が可能です。このツールは、ハイブリッドクロマチックアベレーションリダクション（C。A。R。）技術を備えた独自のReal Image Captureを使用して、精度と解像度を向上させます。大規模なマルチベンダー操作は、デバイスのライブラリとマテリアルパラメータ設定によってサポートされ、生産歩留まりの最適なパフォーマンスを実現します。このアセットには、複数のイメージング解析、統計解析、多次元画像ダイシング、スペクトル収率解析機能など、さまざまな分析ツールが付属しています。直感的なユーザーインターフェイスは、強力なオートメーション機能を提供し、重要な欠陥の詳細かつ迅速なレビューを可能にします。また、欠陥の大規模なダイバイ・ダイ検査、故障解析、プロセス欠陥診断および修理にも対応しています。NewView 7300はまた、大型ウェーハを扱うためのいくつかの高度な機能を提供し、複数のチャンバのセットアップをサポートしています。マルチレイヤーマスク検査モデルは、1回のパスで最大10層を検査でき、フルウェハ検査装置は1回のパスで最大25層を処理できます。NEW VIEW 7300は、自動化されたウェーハ転送および搬送、マルチベイ負荷ポート、サンプルプリップシステムなど、いくつかのウェーハハンドリングサブシステムとも互換性があります。これは、さまざまなサードパーティのオートメーションシステムと統合することができ、手動で介入することなくウェーハの転送と追跡を可能にします。最後に、ユニットは、コンパクトな設計と最小限のスペア要件で、簡単なメンテナンスのために設計されています。結論として、ZYGO NewView 7300は強力なマスクおよびウェーハ検査機で、マスクの性能、ウェーハの形状、特徴寸法を監視する最速かつ最も効率的な方法を提供するように設計されています。ハイスループットスクリーニングと歩留まり解析のための高度な機能、驚異的な精度、柔軟性を提供します。
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