中古 ZYGO NewView 7300 #9248752 を販売中
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販売された
ID: 9248752
ヴィンテージ: 2011
3D Optical profiling system
X, Y Table: 6"
Part no / Description
6300-0459-01 / Electronics, power supply: 110 / 120 VAC, base system included
6450-0815-03 / 7000 Motorized, 5-Axis base stage includes motorized Tip / Tilt, X, Y, Z
6300-0650-01 / Motorized turret (4-Pos) (NV600 / 700 / 6000 / 7000)
6300-0522-02 / 0.5X Field zoom lens
6300-0316-01 / 1x Michelson objective (NV 6000/7000) (Not Turret Mountable)
6300-0593-01 / Objective: 5x Michel son objective
6300-0595-01 / Objective: 20x AF Objective
1776-666-012 / SiC Precision reference flat, 30 mm
1776-666-009 / Step height standard 85 mm
1840-700-105 / Vibration isolation table with 6300-2080-01 workstation table
6301-0401-01:
7300 3D Optical profiling system
Automated 3-position multiple system zoom
With 1.0x lens high performance digital
Closed loop piezo scanning transducer with capacitive feedback
150 Micron scan high speed measurement module
Enhanced illuminator with long lite LED high speed
High resolution CCD camera (640x480) 20 mm extended
Windows XP professional dell OptiPlex 745 minitower
Core 2 Duo 1.86 GHz
(2) DELL USB Keyboards
(2) DELL USB Buttons
Mouse with scroll DELL UltraSharp flat panel monitor, 17" (1.0 GB)
Digital video adapter card: 667 MHz DDR2 2 x 512
SATA Hard Disk Drive (HDD): 80GB
Optical filler panel: 48 X 32 CDRW / DVD
SATA Combo drive
Black PS2 serial port adapter
2011 vintage.
ZYGO NewView 7300は、高度な光学イメージング技術と画像処理アルゴリズムを使用して、マスクやウェーハの欠陥を検出および特性評価するマスクおよびウェーハ検査装置です。半導体製造プロセスの精度と精度を向上させるために設計されており、2Dおよび3D欠陥検査の両方に使用できます。このシステムは、調整可能なレーザービームを使用して、マスクまたはウェーハのサンプル表面をスキャンすることによって機能します。レーザービームはサンプル表面から反射され、高解像度検出器によって検出されます。検出された情報は、さらに処理するためにハイエンドイメージプロセッサに送信されます。イメージプロセッサは、欠陥検出を抽出し、それらを特徴付け、その結果の詳細なレポートを生成します。ZYGO NEW VIEW 7300には、サンプル表面の複数の視野からデータをキャプチャ、分析、比較し、小さな欠陥を検出するなどの高度な欠陥特性評価機能が搭載されています。また、ナノメートルレベルの文字やロジック検査にも信頼性の高いイメージングを提供します。NewView 7300は、ウェーハおよびマスク検査、ウェーハおよびマスクの認定、およびダイサイドイメージングにおける欠陥検出などのアプリケーションに適しています。ダイナミックフォーカスユニットを含む包括的な機能を提供し、より高い精度を確保し、コントラストを強化するためのデュアルバンドレーザー照明技術、高解像度画像の高速処理のための高速レーザースキャニングマシンを提供します。強力な画像処理エンジンと高度な解析機能を備えており、欠陥の正確な検査と特性評価を可能にします。このツールは、SEM/TEM機器と統合して、サンプル検証と欠陥データの配信を自動化することもできます。NEW VIEW 7300には、簡単なセットアップと操作のためのユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが付属しています。この資産は、最高水準の精度と信頼性を満たすように設計されています。最適な製造工程歩留まりに貢献します。半導体の生産の選択の広い範囲で使用することができます。
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