中古 ZYGO NewView 6300 #9188823 を販売中

ZYGO NewView 6300ウェーハおよびマスク検査装置は、ウェーハおよびマスク上のデバイス機能を高速かつ正確に測定するために設計された、非接触光計測システムです。高解像度イメージングとスキャン可能なレーザー干渉顕微鏡（STILI）を組み合わせており、さまざまな半導体、光電子、光機械製造測定に適しています。ZYGO NEW VIEW 6300には自動化されたステージがあり、ウェーハやマスク上の広い領域を正確にスキャンして測定することができます。高度な光学系は、0。1ミクロンまでの分解能を提供し、非常に小さな特徴と構造の測定を可能にします。作業距離8 mm、視野25 mmまでのNewView 6300は、ウェーハまたはマスクのデバイス機能を1分未満で正確に測定できます。NEW VIEW 6300にはSTILI技術が搭載されており、精度と精度の高い機能の測定が可能です。STILIは、レーザー干渉計を使用して最小の地形特性を測定し、プロファイル、傾斜、高さ、およびその他の表面特性を極めて正確に測定できます。また、薄膜スタックや光学コーティングなど、薄膜成膜の異なる層を測定する機能も備えています。ZYGO NewView 6300は、さまざまなアプリケーションに対応した多数の検査モードも提供しています。フォトレジストイメージング、平面化、リソグラフィ、堆積などのプロセスで、デバイスの特徴を高精度に測定するために使用できます。また、電極リフトオフ、マスク欠陥解析、ウェーハ薄型化にも使用できます。ユニットは使いやすく、セットアップも簡単で、最低限のオペレータートレーニングが必要です。これは、ユーザーが迅速かつエラーなしにマシンをセットアップし、実行することができ、グラフィカルユーザーインターフェイスが装備されています。さらに、ZYGO NEW VIEW 6300は信頼性が高く正確です。特徴測定には5nm以上の再現性を実現し、様々な用途に適しています。また、酸化、堆積、抵抗特性など、さまざまな特徴だけでなく、複数のタイプの表面特性を測定する機能を備えています。NewView 6300は、正確なウェーハおよびマスク検査のための効率的なツールであり、比類のない速度と精度を提供します。簡単なユーザーインターフェイスと高解像度の光学系により、精密マスクとウェーハ測定を必要とする製造プロセスに最適です。