中古 ZYGO NewView 5000 #9278752 を販売中
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ZYGO NewView 5000は、半導体製造業界のユーザーに比類のないレベルの精度と再現性を提供するように設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、特許技術を使用してパフォーマンスを最適化し、コストを最小限に抑えながら、製造業者が厳しい歩留まり要件を満たすのを支援します。ZYGO 5000は、IEEE-1394b FireWireインターフェイスと3軸デュアルステージXYZスキャンメカニズムを備えています。FireWireインターフェースを使用すると、プログラム操作とデータ取得の両方に対応するPCにユニットを接続できます。さらに、高解像度12。5 μ mのオンボードカメラを搭載し、比類のない精度、再現性、感度を備えています。光学系に関しては、NewView 5000はモーター駆動型の目的と8"ネオジムドープ型のイットリウムアルミニウムガーネット(Nd: YAG)レーザーを使用しています。Nd: YAGレーザーは高速安定化されたガルバノメーターのモジュール化された単位に取付けられます。それは1 μ mから25 μ mの調節可能なレーザーの点サイズをユーザーに与えます。さらに、このツールには、パルス/ホールドモードでレーザーを制御するためのプロセスコントローラが含まれています。5000はまた、多くの自動検査および欠陥識別ツールを備えています。これには、欠陥のサイズと形状、ダイに対する位置、参照点、パターン化されたフィーチャー、境界、およびその他の機能を測定できる測定ツールが含まれます。さらに、様々なサイズや形状のマスク欠陥を検出できる高度なマスクパターン認識機能を備えています。全体として、ZYGO NewView 5000は、ユーザーに比類のないレベルの精度と再現性を提供する印象的なマスクおよびウェーハ検査モデルです。その機能により、さまざまな業界で欠陥を特定し、生産歩留まりに関する貴重な洞察を提供することができます。これらの機能は、効率的なコスト効率と組み合わせることで、半導体製造に最適です。
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