中古 ZYGO MicroLUPI #9280679 を販売中

ZYGO MicroLUPI-マスクおよびウェーハ検査装置は、高解像度マスクおよびウェーハ検査技術の画期的なものです。マスクやウエハーのサイズや種類を問わず、微細な欠陥を直接可視化することで、欠陥検出や修復において比類のない精度を提供します。このシステムは、1ナノメートル以下のサイズの欠陥を検出し、オペレータがそれぞれの欠陥を迅速かつ正確に特定して特定できるようにすることができます。MicroLUPIユニットは、ウェーハまたはマスクの迅速かつ正確な事前テストおよび分析を可能にする高度なハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントで構成されています。これには、高度な光学系、自動パターン認識アルゴリズム、特殊なソフトウェアが含まれます。ソフトウェアは、マスクまたはウェーハの仮想表現を提供することができ、ユーザーは3Dで欠陥を視覚化することができます。この技術の組み合わせにより、ユーザーは最小で最も困難な欠陥を検出することができます。このマシンは、特許取得済みの画像拡大ハードウェアとソフトウェアを使用して、複数のレベルでマスクまたはウェーハを分析します。ユーザーは15,000xまで拡大を明確に識別し、欠陥を見つけるために調節できます。このツールは、パターンエリアの最大800枚の画像をわずか数秒でキャプチャするため、ユーザーはマスクまたはウェーハ全体の詳細なビューをすばやく取得できます。アセットはトポロジーと寸法の欠陥を同時に検出することができ、ユーザーは材料のトポロジーと厚さの違いを識別することができます。ZYGO MicroLUPIの洗練された検査アルゴリズムは、各欠陥を自動的に識別して定量化するように設計されています。このプロセスは、特殊な光学系、高度な画像認識ソフトウェア、強力なパターン認識アルゴリズムを採用しており、オペレータは独自の欠陥を検出して分類することができます。このデータはさらに分析のために保存されるか、欠陥を即座に修復するために使用できます。全体として、MicroLUPIは強力で高精度なマスクおよびウェーハ検査モデルです。超高解像度で、最も小さな欠陥を検出して修復し、マスクまたはウェーハを徹底的に分析します。この汎用性により、複雑な構造とシンプルなパターンの両方を簡単に分析できます。ZYGO MicroLUPIは、最も困難で最小の欠陥でも検出および修復するのに最適なソリューションです。