中古 ZYGO Mark IV #9292128 を販売中

ZYGO Mark IVは、半導体製造プロセスで使用するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。多種多様な材料に包括的な欠陥検出を提供する自動マルチセンサ検査ツールです。このシステムは、複数の高度なイメージング技術を組み合わせて、比類のない精度と解像度をユーザーに提供します。レーザー干渉顕微鏡（LIM）を使用して表面欠陥を検出し、APR （Automated Pattern Recognition）と呼ばれる高度なモジュールを使用してマスクやウェーハを検査してリソグラフィ関連の欠陥を検出します。また、DSI （Defocus Sensitivity Imaging）を使用して粒子や小さな欠陥をサブミクロンで検出し、Charge Coupled Device （CCD）カメラを使用してパターン固有の広角欠陥をキャプチャします。このユニットには、自動欠陥分類や詳細な欠陥ライブラリなど、いくつかのユーザーフレンドリーな機能も装備されています。このライブラリには、以前のターゲットの測定が含まれており、同様のターゲットを迅速かつ効率的に検査することができます。さらにエラーを低減し、欠陥報告時の精度を向上させるために、このマシンには複数の欠陥フィルタリングアルゴリズムが組み込まれており、ユーザーの検査要件に合わせて調整することができます。自動化の面では、Mark IVには、ツールのセットアップと操作を簡素化するのに役立つ自動ツールセンタリングプロセス（ATC）や欠陥分割ツール（DST）などの機能があります。さらに、自動欠陥マッピング（ADM）ツールを使用して、実質的にどこでも使用できる包括的な欠陥密度マップを作成します。このアセットは、Webベースのレポート機能も提供しており、ユーザーは単一の画面から欠陥関連データにすばやく簡単にアクセスできます。ZYGO Mark IVは、ユーザーに包括的な機能を提供するだけでなく、継続的な運用のために設計されており、最大の稼働時間と効率を確保します。また、モジュール式の設計により、検査ニーズの変化に応じて機器を簡単かつコスト効率よくアップグレードすることができます。結論として、Mark IVは、ユーザーに比類のない検出精度と解像度を提供する包括的な自動マスクおよびウェーハ検査システムです。このユニットは、高度なイメージングおよび欠陥フィルタリング機能を備えており、幅広い製造プロセスでの使用に最適です。