中古 ZYGO Mark III #76467 を販売中

ZYGO Mark IIIは、ウェーハおよびマスク検査において比類のない精度と精度を提供する高精度の測定ツールです。ウェーハ、マスク、フォトマスク、その他の基板上の微細な特徴を測定するために使用される光学非接触イメージング装置です。高品質な光学設計、高性能イメージングユニット、高度なソフトウェアアルゴリズムを備えています。Mark IIIは、光学レンズと回折光学素子（DOE）を組み合わせたユニークなイメージングアーキテクチャに基づいています。これらのコンポーネントは、低歪みの高解像度画像を提供し、効果的に従来のレンズ設計に見られる色収差を排除します。イメージング装置は、様々な基板材料の高精細画像をキャプチャするように設計されています。非常に小さな粒子を検出し、表面粗さを測定し、光の散乱特性を定量化することができます。また、粉塵、イオン、分子、薄膜など様々な粒子の検出も可能です。ウェーハおよびマスク検査ソフトウェアアルゴリズムを使用すると、欠陥をすばやく検出し、プロセスを最適化し、肉眼では見えない望ましくない機能を特定できます。ZYGO Mark IIIは、デジタル信号処理（DSP）技術を活用し、優れた安定性と測定精度を提供します。リアルタイム128ポイント位相補償ツールと高度なノイズ除去（ANR）アルゴリズムを備えています。どちらの機能も、測定の精度と精度を確保し、より正確な画像を提供します。また、オートフォーカス、オートレベリング、画面キャリブレーションなど、さまざまなユーザーフレンドリーな機能も備えています。Mark IIIは、高精度で正確な測定を提供する先進モデルです。これは、迅速に欠陥を検出し、さまざまな検査アプリケーションのプロセスを最適化するために利用することができます。ZYGO Mark IIIは、最先端の光学設計、高性能の光学イメージング、高度なソフトウェアアルゴリズム、および精密な測定により、非常に信頼性が高く正確なウェーハおよびマスク検査装置です。