中古 ZYGO Mark GPI #9152721 を販売中

ZYGO Mark GPIは、様々なフォトマスクやウェーハの高精度イメージングおよび解析用に設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。高解像度のデジタルイメージング技術を使用して、ウェーハまたはマスク表面のパターンを詳細かつ正確にスキャンします。また、高信頼性設計の市場投入までの時間を短縮するために不可欠な印刷品質に対する迅速なフィードバックを可能にします。Mark GPIは、光学、画像処理、および高度なアルゴリズムのユニークな組み合わせを使用して、パターン化されたウェーハまたは非パターン化されたウェーハまたはマスクの両方に亀裂、ピン穴、粒子などの小さな欠陥を検出します。異粒子と物体内の正確な位置を特定し、弱いパターンと欠陥パターンを識別することができます。欠陥の形状、サイズ、向きも測定でき、複雑な製造上の問題を解決するために必要なデータをエンジニアに提供します。ZYGO Mark GPIは、タッチスクリーン機能を備えた直感的なヒューマンマシンインタフェースを採用しており、迅速な操作が可能です。このユニットは、オペレータがデータをすばやく分析して解釈するのを助けるように設計されています。自動化されたフィーチャー抽出機能を使用して、マクロレベルの検査が数分で完了すると、さらに迅速に欠陥を識別できます。また、Mark GPIには高度な診断機能が搭載されており、エンジニアは設計性能を評価してから完全な生産作業を進めることができます。これにより、コストのかかる製造エラーが発生する前に潜在的な問題を特定することで、ウェーハの製造コストを削減できます。AIM （Automatic Illumination Method）マシンが付属しており、パターンまたは欠陥タイプごとに画像条件を整列するために必要な時間と労力を大幅に削減します。このツールには、ウェーハまたはマスク上の粒子の位置とサイズを識別するレビューソフトウェアパッケージなどの診断ツールが装備されています。また、光学、リソグラフィック、電気検査スイートを備えており、エンジニアはウェーハまたはマスク表面の特定の種類の欠陥をテストすることができます。この資産は、信頼性、正確性、再現性を念頭に置いて設計されており、厳格な業界基準を満たすために校正することができます。結論として、ZYGO Mark GPIは、高信頼性設計のための品質保証を強化し、市場投入までの時間を短縮するための詳細なイメージング、分析、および診断を提供する強力なマスクおよびウェーハ検査モデルです。直感的なヒューマンマシンインタフェース、高度な画像処理アルゴリズム、自動化されたフィーチャー抽出機能を内蔵しているため、設計者やウェーハメーカーにとって非常に貴重なツールです。