中古 ZYGO Mark GPI-XPS #9258818 を販売中

ZYGO Mark GPI-XPSは、高度なフォトマスクおよびウェーハ検査アプリケーション向けに特別に設計されたマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは、特許出願中の後処理技術を使用して、解像度、精度、速度の面で結果の品質を最大限に高め、小さな複雑なパターンの大規模な配列の検査に最適です。ユニットには、フルフィールドイメージング用の2つのカメラが装備されています。1つ目のカメラはブライトフィールド検査、2つ目のカメラはダークフィールドイメージングに使用できます。画像解像度は1。2 µmで、高解像度ウェーハやマスク検査に最適です。Mark GPI-XPSは、最大225mmのウェーハを検査することができます。これは、一般的な200mmのウェーハ検査システムよりも大きいため、プロセスリークチェッカーに適しています。このマシンはまた、両方のカメラのための高圧縮、低ノイズイメージング設計を備えています。この設計は、全体的なノイズレベルを低減し、高品質の画像を生成するのに役立ちます。また、高級照明器具を搭載し、幅広い検査要件に対応する精密照明を提供しています。ZYGO Mark GPI-XPSにはパターンマッチングアルゴリズムもあり、結果を参照画像のデータベースと比較することができます。アセットは、所定の基準に一致する機能を検索し、それらを同一で明確なものとして識別します。この自動化された手順は、より高い精度で潜在的な欠陥を特定し、誤検出を低減するのに役立ちます。Mark GPI-XPSは、マスクおよびウェーハ検査用の直感的なグラフィカルインターフェイスも提供します。このユーザーフレンドリーなインターフェイスは、オペレータが迅速にモデルを設定し、マスクとウェーハの検査を行うのに役立ちます。このインターフェイスはまた、ユーザーが異常をすばやく識別できる自動欠陥検出ツールを使用して、わかりやすい結果を提供します。ZYGO Mark GPI-XPSは、フォトマスクおよびウェーハ検査アプリケーションに最適な機器です。高解像度イメージング、自動欠陥検出、直感的な操作を提供し、歩留まりの向上とプロセスの安定性の最適化を支援します。このシステムは、幅広い検査要件に最適であり、確実に信頼できる結果を提供します。