中古 ZYGO Mark GPI-XPS #9115906 を販売中

ZYGO Mark GPI-XPS装置は、半導体製造業界が最新のプロセス要件を満たすために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査システムです。自動アライメントと高解像度イメージングを自動化し、ウェーハやマスクに含まれる小さな欠陥を正確に測定します。サブミクロンレベルのデバイスで微細な測定を正確に行うことができます。このユニットは人間工学に基づいて設計されたワークスペースを備えており、複雑でない試料の調製、アライメント、および測定を可能にします。オートアライメント用のデュアルゾーンシングルアームマニピュレータ、高解像度イメージング用の高感度CCDカメラ、および簡単なユーザーインターフェース用の大型LCDタッチスクリーンが含まれています。Mark GPI-XPSは、周期的な収差（エッジのずれ、起伏）、ビームチルトエラー、疑似テクスチャパターン、傷、散乱効果などの欠陥タイプを測定することができます。このマシンは、ウェーハ上の個々のチップを分析するために使用される高速シンギュレーション機能を備えています。ZYGO GPI-XPSツールはまた、欠陥トポロジー解析のための欠陥サイズ測定と3次元（3D）プロファイルを可能にする高倍率イメージングを提供します。放射レーザー顕微鏡を用いて欠陥部位を探査し、電子ビームやイオンビーム照射のパターンを測定します。ZYGO Mark GPI-XPSアセットには、半導体業界のアプリケーションに最適なさまざまな高度な機能があります。セルフロック機能により、すべての標本が安全に所定の位置に保持されます。直感的なユーザーインターフェイスにより、オペレータはモデルの操作方法をすばやく学ぶことができます。また、オペレータがウェーハ全体を秒単位で表示できる高速スキャナを搭載しています。マークGPI -XPSシステムは、半導体業界に関わるあらゆるビジネスにとって理想的な投資です。正確で一貫した測定を提供し、使いやすいインターフェースを備えているため、どんな経験レベルのユーザーにも適しています。ZYGO Mark GPI-XPSユニットは、その高度な機能により、半導体製造業界の厳しい要件を満たすための信頼性と効率的な方法です。