中古 ZYGO Mark GPI-XPS #293817475 を販売中
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ZYGO Mark GPI-XPSは、製造工程におけるチップの欠陥を確実に識別するために、最大限の精度と精度で設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。それは2つの主要な部品を使用します:測定のためのウェーハを置くウェーハハンドラー;ウェーハ全体の詳細な分析を提供するイメージングシステム。Mark GPI-XPSの高感度、高解像度イメージングユニットは、傷、粒状化、亀裂、その他の汚染の兆候を含むチップ表面の非常に小さな欠陥を捕捉するように調整されています。イメージングマシンは、微細な不完全さを識別し、生産の遅れを避けるために迅速な修理を可能にすることができます。このツールはまた、高度な検査ツールと手動および自動化されたウェーハハンドリングシステムを提供します。ZYGO Mark GPI-XPSには精密位置決めアセットが搭載されており、ウェーハ表面に測定値を正確に配置することができます。これにより、最も小さな欠陥が正確に識別され、測定されます。ウェーハハンドラは堅牢で信頼性が高く、ウェーハの滑らかで正確な動きを提供するように設計されています。また、ウェーハの自動処理も可能で、ユーザーはウェーハ全体を1サイクルで素早く分析することができます。Mark GPI-XPSには、2つの高度なマスク測定機能が搭載されています。まず、プロービングによる測定が可能で、マスクの両面を1サイクルで正確に測定することができます。第二に、高度なスリップオーバー欠陥検出(SLOD)を提供し、マスク内のスリップや亀裂を識別するのに役立ちます。さらに、マスクとウェーハ検査装置は使いやすく、直感的です。LCDディスプレイとグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、システムを簡単にナビゲーションできます。さらに、ユーザー定義の設定も多数用意されており、特定のニーズや要件に合わせてカスタマイズできます。ZYGO Mark GPI-XPSは、チップ製造時に最大限の精度と精度を確保するために設計された信頼性と信頼性の高いユニットです。堅牢な設計、直感的な操作、高度な機能により、製造プロセス中に最高の品質管理を確保しようとするメーカーにとって理想的な選択肢です。
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