中古 ZYGO Mark GPI-XPS #293617695 を販売中

ZYGO Mark GPI-XPSは、迅速かつ正確な欠陥検出を提供し、リソグラフィ歩留まりを向上させるために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。システムの高度なイメージング機能により、広い波長で高品質の画像をキャプチャすることができ、その高度な解析アルゴリズムは最小のリソグラフィ欠陥を検出することができます。Mark GPI-XPSはフルフィールドグループ光学イメージングモードを備えており、視野拡張検査が可能です。また、複数のビン欠陥マッピングツールも提供しており、ユーザーは検出基準をカスタマイズできます。また、リアルタイムフォーカス調整機能により、様々なパターンや形状の鮮明な画像を素早く効率的にキャプチャできます。ZYGO Mark GPI-XPSにはデュアルステーション対物レンズが搭載されており、2つの異なるウェーハを同時に撮影できます。このデュアルステーションイメージングにより、ウェーハの両方の領域の欠陥を1回の移動で簡単に検出できます。対物レンズは、最大500Xの画像倍率を提供し、1。5nmの欠陥を観察することができます。このマシンはまた、さまざまな画像解像度モードを提供し、2Dと3Dの両方で画像をキャプチャすることができます。3Dモードでは、このツールは表面地形情報を収集し、サンプルの構造とプロファイルについての洞察を得ることができます。また、自動補正、EDSEM/ZZ-SAF、 3DTEM/FTAT、その他のループ検査ツールなど、さまざまな画像処理および分析ツールも提供しています。全体として、Mark GPI-XPSは非常に信頼性が高く堅牢な資産であり、次世代のリソグラフィープロセスに迅速かつ正確な欠陥検出を提供します。ウェーハおよびマスクパターンを迅速かつ効率的に視覚的に検証できるため、生産歩留まりとスループットの向上に役立ちます。