中古 ZYGO GPI XP #293810537 を販売中

ZYGO GPI XPは、優れたイメージング機能を備えたマスクおよびウェーハ検査装置です。半導体ウェーハの製造時の欠陥レビューや特性評価に使用できるように設計されています。それはプロセス制御およびプロセス最適化の複数の段階に使用することができます。このシステムには、2軸スキャンプラットフォームと高解像度画像取得ユニットという2つの主要コンポーネントがあります。この2軸スキャンプラットフォームは、半導体ウェーハの迅速、正確、再現性、および信頼性の高いスキャンを提供するように設計されています。そのマルチチャネル設計は、柔軟性とパフォーマンスを向上させるために、さまざまなイメージングチャネルを組み合わせています。画像取得装置は、充電結合デバイス（CCD）イメージセンサ2基で構成され、それぞれ15mm x 15mmの面積を持ち、半導体欠陥の高分解能イメージングを可能にします。このツールは、正確な欠陥識別、位置精度、高速イメージング、および動的イメージング機能を提供します。欠陥のある金型を簡単に見つけ、欠陥のサイズと形状を特定し、自動的に誤った金型画像をアーカイブしてオフライン解析を行うように設計されています。さらに、内蔵の自動アライナーにより、手動で介入することなく不良サイトを即座に配置できます。ZYGO GPIXPには、欠陥信号を最適化およびソートしてレポートの精度と信頼性を向上させるためにプログラムできる強力なポストプロセッシングツールも含まれています。さらに、イメージストレージと検索、ジョブトラッキング、データ分析と可視化など、効率的な欠陥分析のための貴重なワークフロー管理機能を組み込んでいます。GPI-XPは、半導体生産のための貴重なツールであり、迅速に欠陥を識別し、特徴付けるための高度な分析を提供します。優れたイメージング機能、高度な欠陥検出機能、および強力な後処理およびワークフロー管理機能により、プロセス制御と製品品質の両方を最適化するのに理想的です。