中古 ZYGO GPI XP #293808773 を販売中

製造業者
ZYGO
モデル
GPI XP
ID: 293808773
ヴィンテージ: 2009
Interferometer Spatial sampling: 320 x 240 Pixels 5-Axis stage Laser: Type: Helium-neon Wavelength: 632.8 nm Maximum output power: <2 mW Output power at aperture: <1 mW Test beam diameter, 4" Coherence length: >100 m Optical: XP Zoom range: 6:1 XP Aperture focus: -800 mm +1200 mm Optical center line: 4.25" Operating environment: Temperature: 15°C to 30°C Rate of temperature change: <1.0°C/15 minutes Humidity: 5 to 95% DELL PC Hard Disk Drive (HDD) CD-ROM Floppy Disk Drive (FDD) Color monitor, 19" Power supply: 90-240 VAC, Single phase, 75 W, 50/60 Hz 2009 vintage.
ZYGO GPI XPは、最高品質の製品が工場またはラボ環境で生産されるように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。ナノメートルスケールまで大小の構造物を測定することができ、半導体デバイスなどの生産に強力なツールを提供します。このシステムは、フル機能のモジュラーマスクおよびウェーハ検査ユニットであり、幅広い機能を提供します。ナノスケールの任意形状や多層構造など、複雑なパターンの自動スキャンや検査が可能な精密ツールです。さらに、柔軟な設計により、モジュールの簡単な統合とカスタム構成が可能です。ZYGO GPIXPは独自の高度な放射線画像検出機を使用しています。このツールは、レーザー計測技術と独自のソフトウェアを使用して、マスクおよびウェーハ表面の特徴を分析します。これは、故障と設計規則違反の両方を検出する機能を含む、迅速なパターンと機能の識別と分類を実行します。さらに、アセットのフォトマスクコンパレータ機能により、フォトマスク、ウェーハ、レチクルからの印刷パターンを比較することができます。これにより、ライン、スペース、ビア、コンタクトなどのすべての機能が存在し、適切に構築され、均一に配置されていることが保証されます。GPI-XPは、光学やその他の顕微鏡方式に比べて最高の倍率を提供する最新のインレンズイメージングで設計されており、オペレータが最大の精度で前例のない結果を出すのを支援します。モデルはまた傾き、回転および動き制御のフルスイートと設計されています、従ってそれはオペレータの必要性に従って正確に調整することができます。GPI XPの高度な自動化機能により、結果の信頼性と再現性が向上し、セットアップ時間が短縮され、結果の精度に対する信頼性が向上します。これらの自動化機能は、機器の高度なソフトウェアパッケージと、オプションのハードウェアモジュールによって実現できます。ハードウェアモジュールは、自動ウェーハアライメントやイメージステッチなどのユニークな機能を提供し、通常の検出方法で正確に測定することができない機能の迅速な分析に役立ちます。全体として、ZYGO GPI-XPは、高品質の製品を生産するための貴重なツールを提供します。その正確さ、柔軟性、容易な統合はそれをマスクおよびウェーハの点検のための理想的な選択にします。
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