中古 ZYGO GPI XP #293757767 を販売中

ZYGO GPI XPは、今日の半導体業界の厳しい要件を満たすように設計された高性能でフル機能のマスクおよびウェハ検査装置です。完全自動検査、欠陥分類と識別、2D欠陥分類、3D欠陥定量化などの高度な機能を提供します。このシステムは、マスク&シャドウ画像を含むウェーハ全体で200nmまでの欠陥を検出することができます。ユニットの中心にはフルカラーのプログラム可能な顕微鏡があり、光の強度、精度、焦点のより厳密な制御を提供します。この光学顕微鏡には、プロセス制御およびデータ解析ソフトウェアの統合マシンが付属しています。組み込みソフトウェア層は、より簡単なユーザーインターフェイスと簡単な操作を提供することにより、ツールを簡素化します。ZYGO GPIXPには、アライメント、欠陥検出、分類など、さまざまな自動化されたプロセスステップが付属しています。画像処理アルゴリズムは、複数のタイプの欠陥を迅速かつ正確に識別するために設計されています。高度な機能には、ライン間、3Dフィーチャー、マクロ機能を検出する機能が含まれます。また、GPI-XPは、表現された欠陥タイプをそれぞれのカテゴリに分離することができる高度な分類アルゴリズムを備えています。プロセス要約ツールを使用すると、複数の解析実行をすばやく比較でき、欠陥タイプとサイズの両方の比較が可能になります。GPI XPには、高度な欠陥検出および分類機能に加えて、フィールド測定、欠陥密度測定、信号検証用のモジュールも含まれています。また、測定精度と画質を向上させる自動フォーカストラッキング機能も備えています。結論として、GPIXPは、高品質の製品を確実に生産するための機能と洗練されたアルゴリズムの包括的なコレクションを提供する高度でモジュラー型のマスクおよびウェーハ検査資産です。光学およびソフトウェアシステムは、誤った欠陥検出を最小限に抑えながら、スループットとプロセス精度を最大化するように設計されています。ZYGO GPI-XPは、マスクやウェハの検査に使用されるかどうかにかかわらず、実質的にあらゆる検査タスクを完了するための柔軟性と信頼性を提供します。