中古 ZYGO GPI XP #293668228 を販売中
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ID: 293668228
ウェーハサイズ: 6"
Interferometer, 6"
APRE INSTRUMENTS Hardware upgrade
Digital measurement camera
Digital electronics interface
Remote control with optics cleaned and system aligned
Monitor, 24"
PC
Operating system: Windows 10 Pro, 64bit.
ZYGO GPI XPは、幅広いウェーハやマスクに対して最適な3D計測性能を提供するために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。デュアルプローブ技術とダイナミック波長キャリブレーションを組み合わせて、すべてのウェーハタイプにわたってサブミクロンレベルの解像度を実現し、非接触画像を高精度に提供します。自動メトロロジーソリューションは、ウェーハ検査の複雑さを大幅に低減し、高いスループットと低コストの所有コストを実現します。ZYGO GPIXPシステムは、高度な光学、エレクトロニクス、メカニクス技術に基づいており、サブミクロンレベルで数百万のデータポイントを取得、処理、分析するように設計されています。2つの統合レーザープローブと自動フォーカスユニットを組み合わせることで、ウェーハまたはマスクの内面と外面の両方で同時にサンプリングすることができます。さらに、高速スキャン技術により、高速で非接触のデータ取得が可能になり、単一のスキャンで複数の構造を測定することができます。GPI-XPマシンはまた、高度なデータ処理と計算アルゴリズムを備えており、ウェーハまたはマスク内の欠陥や不均一性を確実に検出および分析することができます。また、マスクアライメントとアライメント補正を自動化し、高精度な計測をさらにサポートします。また、Analyses Dashboard™を使用した直感的なユーザーインターフェイスも備えており、簡単なデータ取得と制御が可能です。また、包括的なドキュメント機能も提供しており、複数のスキャンから結果を追跡することができます。また、各顧客の特定の要求を満たすために、高度に構成可能であるように設計されています。組み込み機能に加えて、GPI XPアセットには、包括的な測定レポートを生成する高度な計測ソフトウェアも付属しています。このソフトウェアには、カスタマイズを可能にする一連のソフトウェアツールも含まれており、寸法およびプロファイル測定、ウェハの清潔度、登録などのアプリケーションの検査戦略を最適化するために使用できます。要するに、ZYGO GPI-XPは、サブミクロン精度を提供するための高度な光学、エレクトロニクス、メカニクス技術を組み込んだ高度なマスク&ウェハ検査モデルです。2Dおよび3D非接触イメージング、自動フォーカスとアライメント、および包括的なソフトウェアソリューションを備えており、正確なレポートを生成します。複数のウェーハやマスクにわたって正確で追跡可能で再現性のある測定が必要なアプリケーションに最適です。
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