中古 ZYGO GPI-XP HR #293826355 を販売中
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ID: 293826355
ウェーハサイズ: 6"
Interferometer, 6"
Camera Resolution: 640×480
Frame grabber board
DELL PC
Operating system: Windows NT.
ZYGO GPI-XP HRは、半導体メーカーが最高水準の歩留まりとプロセス制御を実現するために設計された革新的な次世代マスクおよびウェーハ検査システムです。GPI-XP HRは、レーザービームを使用して光学計測を行う業界をリードする3Dイメージング技術を備えており、他のイメージングシステムの10倍以上の解像度でフォトマスクやウェーハの詳細な角度反射イメージングを可能にします。最大軸分解能0。75 μ mの高解像度イメージングにより、難易度の高いパターンを精密に検査できます。さらに、システムの動的ウィンドー機能により、イメージングヘッドの視野を調整して、より小さなフィーチャーや特定のファイン構造の詳細を調整できます。ZYGO GPI-XP HRにはZYGO独自の欠陥レビューソフトウェアも組み込まれており、ユーザーは検出された欠陥をすばやく識別、分類、レビューすることができます。これにより、製品の生産が開始される前に、潜在的な問題を迅速に特定して対処することができます。欠陥レビュー機能に加えて、GPI-XP HRは、臨界寸法(CD)測定、CD均一度(CDU)測定、およびラインエッジ粗度(LER)測定などの高度な計測機能を提供します。この高度な計測スイートにより、最高レベルのプロセス制御が可能になり、ユーザーはすべての処理パラメータを正確に調整して最適な結果を得ることができます。さらに、ZYGO GPI-XP HRには、タッチスクリーンコントロールとわかりやすいメニューを備えた直感的なヒューマンマシンインターフェイス(HMI)が付属しています。これにより、検査プロセスが簡単かつ効率的になり、プロセスパラメータのチューニングが改善されます。GPI-XP HRは、最高レベルのプロセス制御と歩留まりを達成しようとするあらゆる半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。このシステムは、直感的なタッチスクリーン制御とユーザーフレンドリーな欠陥レビューソフトウェアと組み合わせて、フォトマスクとウェーハのための業界をリードするイメージングおよび計測機能を提供します。ロジックデバイス、メモリチップ、または複雑なICを製造する場合でも、ZYGO GPI-XP HRは所有コストを最小限に抑えるのに最適なソリューションです。
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