中古 ZYGO GPI LC #9410066 を販売中

ZYGO GPI LCは、製造プロセス中にウェーハ製品の欠陥や汚染を正確に検出するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、卓越した解像度、精度、再現性を備えた包括的な自動検査スイートを提供します。ZYGO GPI-LCは、基板表面全体のカバレッジを提供する180度の検査モジュールで構成されています。これは、シングルパス、ダブルパス、トリプルパスの構成内で180度まで検査することで実現されます。高解像度かつ高速なイメージングを特徴とし、2ミクロン以上の精度で検査を行います。プロトタイプマスクとウェーハは同じ機械構成で検査できるため、工具やプロトコルの変更が不要です。このツールは、検査用途の広い範囲を可能にするために、高度な独自の照明器、カメラ、光学レンズが装備されています。照明器には、調整可能な照明角度と高出力のLEDライトが搭載されており、高速で優れたコントラストでイメージングが可能です。カメラは最先端のセンサー技術を活用し、光学レンズは高解像度のマスクとウェーハ画像を正確にアライメントできます。オペレータは、自動化と検査プロセスの容易な統合の恩恵を受けます。オペレータコンソールメモリ管理、パワーオンリセット、データセキュリティ機能により、安全な運用とデータ保護が容易になります。直感的なユーザーインターフェイスにより、アセットメニューや機能を簡単にナビゲーションできます。GPI LCは生産ラインの厳密で、信頼できる操作のために設計されています。このモデルは、コンパクトなフォームファクタを備えており、柔軟な設置と低メンテナンス要件を提供します。密封された光学部品は、ほこりや破片から保護するように設計されていますが、密閉された検査ヘッドはプロセスの継続性を可能にし、スキャンエラーを低減します。全体として、GPI-LCは、マスクおよびウェーハ検査用の信頼性の高い強力な機器をお客様に提供します。このシステムは、正確で反復可能な結果を保証するために、画像取得および処理ツールの自動化された高度なスイートを提供します。単位は高められた信頼性および保護特徴の容易な操作そして統合のために、設計されています。ZYGO GPI LCは、強力で高解像度の機能を備えており、業界をリードするマスクおよびウェーハ検査を提供しています。