中古 ZYGO GPI LC #293747146 を販売中

製造業者
ZYGO
モデル
GPI LC
ID: 293747146
ヴィンテージ: 1997
Interferometer 1997 vintage.
ZYGO GPI LCは、高密度マスクとウェーハを簡単かつ正確にレビューするために設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高解像度の反射顕微鏡と調整可能なキネマティックアライメントユニットを組み合わせて、可能な限り最先端の分析を行います。最大1000倍の倍率で、他の検査システムには見えない最小の粒子でも簡単に検出できます。ZYGO GPI-LCは、デジタルマイクロスポット投影システムと、現在のほとんどのコンピュータ支援検査システムとシームレスに統合されています。GPI LCには、サンプルの正確な位置決めのための電動XYZステージが含まれています。このステージはプログラムが簡単で、正確で反復可能な動きを出力するように設定することができます。また、ユーザーはマシンをカスタマイズして、実行ごとにデータを記録して保存し、結果を簡単に比較およびドキュメント化することもできます。このツールの直感的なグラフィカルインターフェイスは、迅速な操作とデータ操作を可能にします。GPI-LCには、画像処理ツールの包括的なスイートを提供するソフトウェアも含まれています。これらのツールは、個々のピクセルを分析して、粒子、欠陥、およびその他の機能を識別することができます。アセットは、マスクまたはウェーハを通過するパーティクルや機能を自動的に検出し、さらなる分析のためにそれらを強調表示することができます。結果は、さまざまな形式で保存できる読みやすい形式で表示されます。ZYGO GPI LCの高解像度フラットフィールドイメージングモデルは、クリスタルクリアな画像を生成し、最小の機能でも迅速かつ正確にレビューします。広い視野で、顕微鏡は1回のショットで全面画像をキャプチャすることができます。この機器には、正確さと一貫性を確保するためのフルイメージの動き補正機能も含まれています。ZYGO GPI-LCの統合ビームスキャン技術は、マスクまたはウェハ内の粒子や欠陥を迅速かつ正確に検査します。システムの高度な光学設計は、サンプルの状態に関係なく、正確で反復可能な結果を生成します。このユニットには、各ランの詳細な品質情報を提供する統計測定のライブラリもあります。全体として、GPI LCはマスクおよびウェーハの点検の優秀な性能そして信頼性を提供します。高度な画像処理ツールと全画像の動き補正機能を備えたこのマシンは、正確で反復可能な結果を得るための理想的な選択肢です。
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