中古 ZYGO F/0.75 Lambda/40 #9383775 を販売中
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ZYGO F/0.75 Lambda/40マスクおよびウェハ検査装置は、半導体デバイス製造に使用されるフォトマスクおよびウェハの欠陥を検出するために設計された高精度の光学システムです。このユニットは、0。75ミクロンの解像度まで表面を検査することができ、自動フォーカストラッキングやフルフィールドイメージステッチなどの高度な機能を提供します。機械の中心には、40ナノメートルの波長で光を生成する大判レーザーベースの照明源があります。これにより、フォトマスクまたはウェーハの最小の機能であっても、製造プロセスの次のステップに渡される前に検査することができます。照明源には、色、明るさ、コントラストなど、さまざまなフォーマットの欠陥を検出できる高度なカメラが付属しています。カメラは、フォトマスクまたはウェーハ上の任意の領域にカメラを簡単に配置することを可能にする可動プラットフォームに取り付けられています。このツールには、2つのカメラからの複数の画像を組み合わせて、検査のために領域全体の単一の画像を作成することができる統合ビジョンプロセッサも含まれています。このプロセッサは、画像の欠陥を検出し、後でレビューするためにデータを保存するためにも使用されます。ZYGO F/0.75 Lambda/40マスクおよびウェーハ検査資産には、検査プロセスを迅速かつ効率的にするためのさまざまな機能が装備されています。ワーキングエリアが広く、1回のスキャンでより大きなウエハの検査が可能です。オートフォーカストラッキング機能により、検査プロセスが可能な限り正確かつ正確であることが保証されます。さらに、このモデルには、ユーザーが処理パラメータをカスタマイズし、不具合が見落とされないように整合性チェックを設定できるソフトウェアが付属しています。ZYGO F/0.75 Lambda/40マスクおよびウェーハ検査装置は欠陥分析のための信頼できる結果を提供し、ユーザーは製品が最高水準の品質を満たしていることを確認することができます。このシステムは、大量生産と少量生産の両方での使用に適しており、半導体業界にとって理想的なツールとなっています。
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