中古 ZYGO 7701C/E #9244741 を販売中

ZYGO 7701C/Eは、ウェーハ製造および関連プロセス向けの包括的なソリューションを提供するマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、2D、 3D、およびプロファイル測定に対応しており、ウェーハの厚さ、楕円度、傾き、反りなどの特性をナノメートル分解能で測定することができます。また、裏面およびエッジ検査モードにも対応しています。ZYGO 7701C/Eは、モーションコントロール用の光学ユニットと測定用のセンサーを接続したメインコントロールユニットで構成されています。本機には、ウェーハを照らす光プロジェクションユニットと、画像をキャプチャするカメラツールが搭載されています。また、ダイナミックなXYステージと垂直駆動のステージを備えており、高速で正確なオブジェクトの位置決めを行うように設計されています。ZYGO 7701C/Eは、設計および製造段階の欠陥を検出するために、光学マスクの自動化された非破壊検査を提供します。0.5µmからの欠陥領域を測定し、0.5µm以上の欠陥検出再現性を提供します。透明マスクと不透明マスクの両方の欠陥を検出できる光学アセットを備えた高コントラストイメージングを特徴としています。ZYGO 7701C/Eは、ウェーハ、ガラス板、その他の表面の自動検査および大規模な測定用に設計されています。半導体ウェーハ、フォトマスク、ディスプレイ基板のウェーハ径、平坦度などの不規則性を測定できます。アダプティブオプティクスを使用して正確な3D測定を行い、さまざまな変形解析アルゴリズムをサポートします。このモデルには、ZYGOの業界をリードする欠陥検出および校正機器も付属しているため、ユーザーはさまざまなレチクルをすばやくスキャンして分析することができます。欠陥検出システムは、欠陥を検出および報告するための線幅のバリエーションとシェーディング効果を識別します。統合された校正ユニットは、機械の位置、動作パラメータ、校正定数、およびその他の設定を調整することにより、測定の精度を保証します。ZYGO 7701C/Eは、工具メーカーと生産スタッフに欠陥解析のための包括的なソリューションを提供する高度なツールです。直感的なソフトウェアインターフェイス、頑丈で信頼性の高い設計、および高速で正確な測定により、マスク、ウェーハ、その他の表面の光学検査に最適な資産です。