中古 ZYGO 7701 #180361 を販売中

ZYGO 7701は、最適に設計されたウェーハとマスクを製造できるように、徹底的かつ正確な検査を可能にするために設計された包括的なマスクおよびウェーハ検査装置です。システムには2つのスキャンタイプがあります-静的および動的。静的スキャンでは、ウェーハとマスクサーフェスをスイープして、表示されるフィーチャーを自動的に評価します。このスキャンは、検査中のデバイスに存在する粒子、チップ、異物、またはその他の欠陥などの異常を検出するために使用されます。ダイナミックスキャンは、高エネルギーレーザーを使用して、特定の点で検査中のデバイスを照らします。これにより、従来の目視検査ではほとんど見えない細部に焦点を当てて、表面の地形を測定することができます。高解像度のビデオカメラを使用して、結果の画像をキャプチャし、ユーザーが欠陥や不規則性を確認することができます。7701にはロボットマニピュレータとコントローラも搭載されており、5mmの範囲内で正確で繰り返し可能なナノメートル移動を提供し、直感的なインターフェースを介して制御されます。これにより、ツールコンポーネントの迅速かつ正確なアライメントが可能になり、ウェーハとマスクが適切に検査されるようになります。このアセットには、デバイス内のエラーを迅速に識別および分析するために設計された自動欠陥認識および分類機能も備えています。これは個々の要件に合わせてカスタマイズでき、あらゆる検査プロセスの全体的な効率と精度を向上させるのに役立ちます。ZYGO 7701には多くの接続オプションがあり、ユーザーはカメラやディスプレイなどの他のモデルコンポーネントに簡単に接続できます。これは、データへのアクセス、分析、およびより効率的な欠陥管理を支援する画像解析およびプロセス制御ソフトウェアを備えています。全体として、7701は高性能で包括的なマスクおよびウェーハ検査装置を提供するように設計されており、デバイスを細部まで正確に検査します。高度なスキャンタイプ、ロボットマニピュレータ、直感的な制御システムにより、デバイスを検査するための効果的で効率的な方法を提供します。これにより、生産、自動車、工業運転に最適です。