中古 ZEISS REG C #9386144 を販売中

ZEISS REG Cは、表面および埋め込み欠陥検査、地形評価、オーバーレイ計測など、さまざまな自動タスクを実行できるマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高度なモーションパフォーマンスと高解像度および高感度を組み合わせて、高解像度の倍率と自動化された操作でマスクとウェーハを効果的に検査します。REG Cの高解像度と高感度により、他の検査システムで欠陥を検出することができます。オートフォーカス制御により、高品質の欠陥検査を維持することができ、自動化された動きにより、マスクとウェーハの任意の領域に高い精度で到達することができます。ZEISS REG Cには、マスクおよびウェーハ検査プロセスを自動化するソフトウェアツールが装備されています。このソフトウェアは、マスクアライメント、オーバーレイ測定、および欠陥位置決めのためのツールを提供します。検査プロセスを自動化することにより、オペレータはソフトウェアを使用してマスクとウェーハデータを迅速に評価し、最高品質の検査を保証することができます。また、REG Cは、電界放出走査型電子顕微鏡（FE-SEM）や走査熱顕微鏡（STM）の助けを借りて、幅広い表面解析を行うことができます。FE-SEMは高解像度の領域を同時にスキャンすることができ、STMはサンプルの表面を詳細に分析することができます。この高分解能と高度な表面解析の組み合わせにより、あらゆるサンプルを詳細に検査できます。ZEISS REG Cは、自動マスクおよびウェーハ検査のための強力なツールです。その強力な自動化機能と高解像度と感度は、あらゆるタイプの検査に最適です。高度な運動性能、高解像度、高感度を組み合わせることで、REG Cはマスクおよびウェーハ検査に信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。