中古 ZEISS AIMS Fab 193 Immersion #9221855 を販売中
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ID: 9221855
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2005
System, 6"
Laser to be replaced
Laser gas manifold to be replaced
2005 vintage.
ZEISS AIMS Fab 193 Immersionは高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。193nmの液浸ArFレーザーソースを使用し、最大16mmのウェーハ露出で、直径200mmまでのウェーハを検査することができます。高度な画像処理アルゴリズムにより、幅広い材料およびフォトマスク欠陥におけるデバイスの性能を迅速かつ正確に分析できます。AIMS Fab 193 Immersionには、ウエハ検査市場で比類のない機能がいくつか組み込まれています。最大256kVの加速電圧により、ナノメートル解像度でのデバイス機能の高精度なイメージングが可能です。また、最大64X倍率と詳細なパターンベースの計測の両方で高密度の線パターンを見ることができます。さらに、DOF （Depth Of Focus）技術により、ウェーハを同じレイヤー内の異なる深さで検査することができ、デバイス構造をより深く理解することができます。ZEISS AIMS Fab 193 Immersionは、高度なイメージング機能に加えて、強力なプロセス制御機能も備えています。ソフトウェアインターフェイスを通じて、露光時間、焦点深度、加速電圧などのシステムのプロセスパラメータを制御できます。さらに、インユニット3Dオートフォーカスのアルゴリズムにより、マシンはさまざまなターゲット層に焦点を合わせることができます。このオートフォーカス機能と最先端の画像処理アルゴリズムを組み合わせることで、AIMS Fab 193 Immersionは製品の欠陥や異常を迅速かつ正確に特定します。最後に、ZEISS AIMS Fab 193イマージョンツールは使いやすさを念頭に設計されています。その巨大な表示画面は、ユーザーインターフェイスの簡単なナビゲーションとサンプルのより大きな可視性を可能にします。タッチスクリーンコントロールパネルは、ユーザー定義アルゴリズム、パターンマッチング、リアルタイムイメージングなどの高度な機能をサポートし、迅速かつ効率的な検査を可能にします。全体として、AIMS Fab 193 Immersionアセットは、比類のない画像解像度、高度なプロセス制御機能、使いやすさを提供します。その特徴は、ウェーハやフォトマスクを高精度に検査し、デバイスの性能を総合的に把握するのに理想的です。
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