中古 ZEISS / ACCRETECH / TSK RONCOM 55A #9118660 を販売中
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販売された
ID: 9118660
ヴィンテージ: 2002
Form tester
Measuring range:
Max. measuring diameter: 350mm
Left/right feed (R-axis): 191mm
Up/down feed (Z-axis): 350mm
Max. load diameter: 600mm
Max. measuring height: outer diameter 350mm (675mm for roundness/coaxiality measurement), inner diameter 350mm
Rotation accuracy:
JIS B7451: (0.02 + 6H/10000)um H: height from table surface to measuring point (mm)
Max. deviation from min. square circle: (0.01 + 3H/10000)um
Straightness accuracy:
Up/down direction (Z-axis): 0.15um/100mm, 0.3um/350mm
Radius direction (R-axis): 1um/100mm
Parallelness accuracy:
Up/down direction (Z-axis): 1.5um/350mm
Rotation speed:
Measurement: 2-10/min
Alignment: 6, 10 or 20/min
Up/down speed (Z-axis):
Measuring speed: 0.6-6.0mm
Movement speed: 0.6-30.0mm
Radius speed (R-axis)
Measuring speed: 0.6-6.0mm
Movement speed: 0.6-15mm
Auto stop:
Function: Z-axis, R-axis
Stop accuracy: Z-axis +/-5um, R-axis +/-5um
Table load conditions:
Table outer diameter: 290mm
Centering adjustment range: +/-5mm (automatic)
Tiling adjustment range: +/-1° (automatic)
Detector:
Measuring force: 30-100mN
Stylus shape: 1.6mm carbide ball
Roundness evaluation of profile error:
MZC (min. range center line method), LSC (min. square center line method), MIC (max. inscribed circle center line method)
MCC (min. circumscribed circle center line), N.C. (no correction)
Measuring items:
Rotation direction: roundness, flatness, parallelness, concentricity, coaxiality, cylindricity, diameter deviation, non-uniformity, squareness, run-out
Rectilinear direction (Z): straightness, taper, cylindricity, squareness, paralleness
Radius direction (R): straightness
Functions: CN measuring function, notch function (level, angle, cursor), parameter design value collation
Types of filters: digital (2RC, Gaussian)
Cut-off value:
Rotation direction: 15, 50, 150, 500, 15-150, 15-500 peaks/rotation
Rectilinear direction (Z): 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5 or 8mm
Display:
Monitor: 15" Color
Content: measuring conditions, measuring parameters, profile drawing (expansion plan, 3D plan, shading), printer output conditions, comments, error message, etc.
Recording unit:
Method: select color printer or laser printer
Magnification: 10-200K (22 steps), auto, measuring magnification
Power source: AC 100V, 50/60Hz
Power consumption: 800VA (not including printer)
Air source: 0.5 - 0.7MPa
Air consumption: 30 l/min
(1) Reference sphere
(1) Reference cylinder
(2) Reference gauge blocks
Computer & monitor
Currently installed in cleanroom
2002 vintage.
ZEISS/ACCRETECH/TSK RONCOM 55Aは、半導体業界で使用するために設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、優れた画像解像度、高感度、および自動欠陥レビューユニット（ADRS）を提供します。基本的な機械はモーターを備えられたx/y段階、自動化されたウェーハハンドラー、顕微鏡の頭部および光源から成っています。このツールは、1xと10xの両方の検査で使用できます。この顕微鏡ヘッドは、10倍の無限補正光学アセットを備えており、明るいフィールドと暗いフィールドの照明の両方で平らな視野で優れたイメージング性能をもたらします。光源は非常にligtetstableであり、40 klux出力機能を備えています。モーターを備えたフィルターホイールとともに、傷、粒子、チャージトラップ、パターンフォールトなどの欠陥のアプリケーション固有の検査を可能にします。また、AIベースの高度な機械学習アルゴリズムである自動欠陥レビュー装置（ADRS）も提供しており、優れた信頼性で欠陥検査を自動化できます。システムの結果は、レポートや分析のためにさまざまな形式にエクスポートできます。TSK RONCOM 55Aは、ウェーハの取り扱い、検査、レビュー、分析のための包括的なソフトウェア機能を備えています。ユーザーインターフェイスは直感的で使いやすいため、半導体業界のさまざまな欠陥検査アプリケーションに最適です。ユニットの中心には最先端のモーター式x/yステージがあり、サンプルのロード/アンロード中および検査中に正確で反復可能な動きを提供します。自動化されたウエハハンドラと組み合わせることで、複数のウエハーを一度に検査することが可能となり、複数のウエハーを検査する際の高い精度と再現性を維持します。ZEISS RONCOM 55Aは、半導体業界のマスクおよびウェーハ検査用に設計された先進的な機械です。高解像度、信頼性の高い自動欠陥検査、使いやすいソフトウェアを提供し、正確で効率的な欠陥検査に最適です。
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