中古 YEST YIH-2610 #9098825 を販売中

YEST YIH-2610
ID: 9098825
ヴィンテージ: 2008
Mask repair system, 2008 vintage.
YEST YIH-2610マスクおよびウェーハ検査装置は、マスク検査とウェーハ検査の両方に対応する汎用性の高いソリューションです。このシステムは、高解像度のイメージング機能と12インチウェーハの自動マスクおよびウェーハ欠陥検出機能を提供します。YIH-2610は、5メガピクセルのプログレッシブスキャンCCDラインスキャナと88要素のLED光源を内蔵しており、最大0。7 μ mのサイズの欠陥を検出および識別することができます。その拡大された視野と広い視野の深さは、手動の焦点調整の必要性を排除します。YEST YIH-2610はまた、マスクデータの準備、手動マスク編集、マスク検査、欠陥レビュー、および後処理のための統合ソフトウェアパッケージを提供しています。YIH-2610は、シンプルなオペレータインターフェイスと、検査ジョブを完全に自動化するためのグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を提供しています。単位は調節可能なスキャン範囲、スキャン速度、露出時間および決断とのさまざまな点検適用の条件を、満たすように形成することができます。人間工学に基づいた設計と堅牢な構造を備えており、最小限の可動部品と振動減衰フレームワークを備えており、安定性と画像精度を提供します。YEST YIH-2610は、高度な欠陥特性評価アルゴリズムを使用して、開放/短絡回路、ダイライン欠陥、スクラッチ、およびボイドなどのブライトフィールド欠陥とダークフィールド欠陥の両方を検出および識別します。検査結果のリアルタイムでインタラクティブなプレビューと、結果の包括的な統計分析を提供し、プロセス制御を改善します。このツールには、TIFFやBMP形式の画像を含むがこれに限定されないさまざまなデータ書き出しオプションもあります。YIH-2610資産は非常に信頼性が高く、維持しやすいです。その設計は、安全性と信頼性を最適化するために、高いEMI/EMCレベルと振動カテゴリの要件を満たしています。このモデルは、クラス10までのクリーンルーム(ISO-14644-1による)で使用でき、ダウンタイムと最大生産性を最小限に抑えます。また、周辺照明、サンプルおよび/またはワークステージ、またはその他のカスタマイズされた構成など、さまざまな周辺機器を装備することもできます。
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