中古 WYKO / VEECO RTI #9234521 を販売中

WYKO/VEECO RTIマスクおよびウェーハ検査装置は、シリコンウェーハ、マスクおよびその他の半導体基板の完全性を評価するために使用される包括的なメカニズムです。光学顕微鏡、電気試験、非破壊画像などのさまざまな技術を組み合わせて、薄膜、新規構造、成分などのサンプルを評価します。このシステムの光学顕微鏡は、1。0ナノメートルという非常に高分解能レベルでサンプルの観察、イメージング、分析が可能です。SEM、 CCD、 TIFFなど様々な形式の顕微鏡画像を読み取ることができます。この顕微鏡は高度な画像処理モジュールを備えており、ステッチ、超解像度、コントラスト強化などのいくつかの機能を使用して、特徴と欠陥を分析できます。WYKO RTIユニットが提供する電気試験機能により、基板の電気特性が決定されます。これは、基本的な抵抗から非常に複雑な構造まで、幅広い材料と統合されたマイクロサーキットをカバーしています。試験手順は、接触、非接触（静電容量カップリングを使用）、非接触試験に適しており、抵抗、容量、インピーダンスなどのパラメータを測定できます。さらに、非破壊画像を用いてサンプルの地形を調べ、パターン、粒度、アライメントなどの特徴を検出します。イメージング施設は、より良いコントラストモードで設計されており、より広範なアプリケーションを可能にします。X線、電子ビーム、焦点イオンビーム技術を使用して正確な詳細を収集することができます。高度なソフトウェアパッケージは、データの処理と分析を可能にし、エラーの検出と修正、カスタム設定によるパラメータの制御を可能にします。異なる技術から得られたデータを1つのファイルに結合して結合することができ、基板材料のより詳細な分析を可能にします。得られたデータは、画像またはデータとして提示することができ、さらなる検査と分析を可能にします。この使いやすいツールはユーザーフレンドリーで、研究室や製造現場での研究や生産テストの効率を向上させるのに役立ちます。