中古 WYKO / VEECO RTI 4100 #9174418 を販売中

WYKO/VEECO RTI 4100は、半導体業界における最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、ウェーハやマスクの顕微鏡特性を解析するための高性能顕微鏡を利用しています。明るい電界顕微鏡と暗い電界顕微鏡を組み合わせた画像処理アルゴリズムにより、0。5 μ mの最小解像度で、小さなフィーチャーサイズの欠陥を検出して特定することができます。WYKO RTI 4100の高感度イメージングシステムは、4つの高解像度カメラで構成されています。これらのカメラは、サンプルのスキャンと分析の両方に使用されます。2つの明るいフィールドカメラのピクセルサイズは6。7 μ mで、2つの暗いフィールドカメラのピクセルサイズは4。3 μ mです。これにより、各サンプルで撮影された画像の膨大なディテールが機械に提供され、ツールは最小の欠陥をすばやく検出して識別することができます。4つのカメラに加えて、VEECO RTI 4100には、異なる色とさまざまな波長の光を分離するために使用されるTrue Color Mechanism補正アセットが含まれており、サンプルの正確な色分析を可能にします。これにより、RTI 4100の画像処理アルゴリズムの精度をさらに向上させ、サンプル内のさまざまな欠陥フィーチャーを正確に識別することができます。WYKO/VEECO RTI 4100は、WYKO Automated Defect Inspection Model （ADIS）と組み合わせて使用することで、さらに機能を強化することができます。ADISは、品質保証およびプロセス制御に使用できる欠陥の自動検出と分類を可能にします。これにより、機器はさらに詳細な欠陥を特定して分離することができ、生産プロセスの改善のために発見された欠陥の詳細なレポートを提供します。WYKO RTI 4100は、高い精度と信頼性、そして費用対効果を備えたクラスのリーダーと考えられています。その高い感度により、サンプルの迅速な検査が可能になり、スループットは毎時20ウェハプロセスです。また、あらゆるタイプのマスクやウェーハに正確な結果をもたらすことができ、さまざまな生産環境で使用できることも特徴です。全体として、VEECO RTI 4100は、比類のない精度とディテールを備えた強力で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査システムです。高品質のウェーハ検査を高速、信頼性、費用対効果の高い方法で提供するように設計されており、半導体業界で不可欠なツールとなっています。