中古 WYKO / VEECO 600 #9234535 を販売中

WYKO/VEECO 600は、製品評価の速度と精度を考慮して設計された高性能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、原子力顕微鏡（AFM）や走査電子顕微鏡（SEM）など、さまざまな測定技術を備えた任意の形状の半導体ウェーハを分析するためのフロントエンドツールです。半導体製造のためのリソグラフィ、蒸着、反応イオンエッチングなどの全範囲にわたって高速かつ高精度な測定が可能です。このユニットは、WYKO Instrumentsブランドを通じて取得した検査用の光学計測設計を特許取得しています。この光学機械には、斜めの光源とテレセントリックレンズツールが含まれており、どちらも測定精度を向上させます。このアセットには、スキャン用のデュアルXYZスキャンモデルと、再現可能なXYまたはXYZプロービングが装備されています。WYKO 600はまた、ウエハサーフェスの機能レベルの可視性を提供し、故障解析を行います。ウェーハ表面の高解像度画像を測定、分析、比較するためのハードウェアとソフトウェアを統合しています。この装置は、パーティクル解析ソフトウェアを使用して、ウェーハ表面の複数の場所から自動データコレクションを行うことができます。このシステムには、200または500nmの解像度と特殊な測定機能を備えた強力な操作モードが装備されています。これらの操作モードには、解像度を高めるための動き補正、エッジの問題複製、および測定瞑想があります。マルチターゲットスキャン（MTS）機能により、機能の均一性を監視し、プロセスの安定性と製品の一貫性を決定します。VEECO 600は、強力な機能を備えた汎用性の高いウェーハテストおよび計測ユニットです。それは速度、正確さおよび便利のために設計され、多くの製造工程を最適化するのに使用することができます。半導体ウェーハ形状の精査・解析に最適なツールです。