中古 VITRONICS SOLTEC 104873 #9175105 を販売中

VITRONICS SOLTEC 104873は、UV-A LED （Light Emitting Diode）光源と独自のラインおよびエッジスキャン方法を使用して、IC（集積回路）ウェハの欠陥を検出するマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、85ミクロンから1600ミクロンまで調整可能な拡散型UV-A LED照明を使用して、直径150mm （6インチ）までのICウェーハを検査します。このユニットには非接触レーザー干渉計ユニットが含まれており、レーザーラインをICに投影して偏向データを収集することにより、デバイスが重要な寸法を測定することができます。これにより、104873は、ICウエハの印刷面の上下両方の欠陥を検出することができます。このマシンは、直径150mmまでのICウェーハ用の光学アライメント機能を含む、複数のマスクレベルと機能を検査するように設計されています。プリキャリブレーションされたフィードバック制御とリニアモータとサーボ制御技術を組み合わせたPrecise Motion&Stage Toolテクノロジーを搭載し、制御応答範囲の短縮、精度の向上、再現性の向上を実現しています。VITRONICS SOLTEC 104873は、1時間あたり最大2,500ウェーハの速度でICを検査することができる、高速かつ品質の高い信頼性の高い資産です。このモデルには、強力でユーザーフレンドリーなEH2グラフィカルユーザーインターフェイスも含まれています。これにより、ユーザーは機器を簡単にセットアップして包括的なテストを実行し、最大限の運用作業を実現できます。さらに、小型IC機能の検出、測定、解析に使用できる、拡張されたMicroVisionウェーハアライメント（WA）機能を搭載しています。単位は精度および精密を保障するために高度のアルゴリズムおよび光学検査用具と設計されています。104873で使用される高度なツールには、目視検査よりも高い精度でIC上の線幅とパターンを検出できるSEM（走査電子顕微鏡）が含まれています。さらに、Scanning Optical Microscopy （SOM）に基づくパラメータを使用して、より高い解像度でより大きな領域を検査することができます。VITRONICS SOLTEC 104873は、従来のICプロセスからの粉塵、汚染物質、汚染物質などの分子を識別および測定するパターン認識アルゴリズムを使用してICウエハをスキャンするバックグラウンド検査も可能です。ライン/スペースや画像認識機能の測定も可能で、半導体回路製造や検査などの用途に適しています。さらに、このツールは、0。5ミクロン未満の粒子を検出できるオンボード粒子検出で設計されています。104873は、ICウェーハの検査に最適な資産であり、高度な光学ツールを使用して精度と精度を提供しています。さらに、非接触レーザー干渉計ユニットと、正確で再現性のある包括的な測定を提供する強化されたMicroVision Wafer Aligner （WA）機能を搭載しています。また、VITRONICS SOLTEC 104873はバックグラウンド検査や小分子検出に適しており、ICウエハ検査に最適な装置です。