中古 VISTEC LWM9000 #293589506 を販売中

VISTEC LWM9000
ID: 293589506
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2006
CD Measurement system, 6" 2006 vintage.
VISTEC LWM9000は、フォトマスクまたは大型ウェハの自動解析用に設計された、生産環境とラボ環境の両方に対応する包括的なマスクおよびウェハ検査装置です。革新的な光学ヘッド設計により、LWM9000マスクおよびウェーハ検査システムは最大0。35ミクロンの分解能を提供することができ、重要な機能の詳細な分析と測定を可能にします。このユニットは、マスクとウェーハの両方の表面の欠陥、歪み、およびその他の異常を識別するための高度なイメージング技術を備えています。VISTEC LWM9000には、CD-SEM(走査型電子顕微鏡)、CD-AFM(原子力顕微鏡)、階層単原子計測の3つの光学センサが搭載されており、マスクとウェーハパターンを高精度に評価することができます。CD-SEMイメージングでは、0。25〜0。35ミクロンの3種類の倍率で画像を得ることができます。CD-AFM機能は、薄膜、導体構造、および半導体層の高速かつ正確な測定を提供します。階層的な単原子計測機能を使用すると、90%以上の精度で構造上の最小の構造を検出できます。LWM9000は、スケーラブルでユーザー定義のフォトマスク・モダリティを提供し、直感的でグラフィカルなユーザーインターフェイスを備えています。これにより、顧客固有のシミュレーションおよびマスクレイアウトデータの迅速かつ正確な測定と統合が可能になります。このデバイスはまた、クイックフォーカス位置決めのための自動ステージ制御を提供し、大規模またはセグメント化されたデータセットの高速かつ効率的な分析を可能にします。自動モーションの汎用性を備えており、マスクまたはウェーハの複数の位置決めと連続スキャンを可能にします。VISTEC LWM9000には、ユーザーと開発者の両方にとって強力で使いやすいソフトウェアがあります。このソフトウェアは、生産検査と実験室検査の両方に多目的でユーザーフレンドリーな環境を提供し、ユーザーはマシンをカスタマイズし、自動アライメントチェックと取得を実行することができます。また、エキスパートのアノテーション、パッチ分析、高度なスクリプトコマンド、バッチ処理機能を提供し、効率的かつ正確な操作を提供します。さらに、このデバイスには統合されたデータベースがあり、ユーザーはマスクとウェハデータを保存、取得、比較することができます。結論として、LWM9000は最新のイメージングおよび計測技術で設計された高度な検査ツールです。これは、フォトマスクまたはウェーハの迅速かつ正確な分析のための高度なイメージング機能と自動化を提供し、生産および実験室用の両方に最適です。また、このデバイスは非常にユーザーフレンドリーであり、大規模またはセグメント化されたデータセットのカスタマイズと専門家による分析を可能にします。
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