中古 VIKING / DYMATIX VIS 100D #19172 を販売中

VIKING/DYMATIX VIS 100Dは半導体産業のために設計された高精度マスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは、さまざまなマスクおよびウェーハ基板に対して効率的かつ包括的な欠陥検出を提供します。これは、検査パラメータの広い範囲と高いスループットを確保するための高いサーマルドリフト補償機能を備えています。VIKING VIS 100Dは、高度な光学技術と画像処理技術を備えた完全自動化されたウェハーパイプラインを提供します。このユニットは、高度なリニアアレイスタイルのビームスキャン設計を採用しており、高スループット、低位置ドリフト、高解像度イメージングを実現しています。これにより、迅速で信頼性の高い検査プロセスが保証されます。さらに、最適にチューニングされた照明ソースと高度なイメージングオプティクスを備えており、低い収差を維持しながら回折と散乱の制御に優れています。このツールは、形状とサイズのバリエーションで複数のマスクとウェーハ基板をサポートし、高い柔軟性とスループットを確保します。このアセットは、強力な画像処理アルゴリズムにより、欠陥検出機能を強化しています。これらのアルゴリズムには、グローバルおよびローカルの強度比較、拡張、幾何学的パターンマッチング、および検査結果の完全自動レポートが含まれます。DYMATIX VIS 100Dには直感的なユーザーインターフェイスが含まれており、簡単かつ迅速な操作を保証するために簡単にアクセス可能なパラメータがあります。ハイライトされた機能には、サーマルドリフトに耐性があり、極端な角度と発生角度で高感度の測定を達成できる独自の低ノイズ検出器が含まれています。このモデルは、検出された欠陥の形状、サイズ、ピッチの広い範囲に0.1µmする50µmの高いダイナミックレンジを提供することもできます。ピクセルセル構造により、最大1。5nmの高解像度可視化も可能です。さらに、高度な画像データ管理、画像領域補正、アーティファクト除去、パターン生成機能により、正確で信頼性の高い欠陥検出が可能です。VIS 100Dは、高度な光学および照明システム、高度に最適化された検出およびイメージングシステム、高度な画像処理アルゴリズム、高解像度イメージングなど、さまざまなアプリケーションのニーズに対応しています。複雑な半導体アプリケーションでの使用を想定して設計されており、マスクやウェーハ基板に効率的かつ信頼性の高い検査機能を提供します。