中古 TROPEL FlatMaster FM200 #9115976 を販売中

TROPEL FlatMaster FM200は、幅広い基板において、最も困難なアレイの正確で高解像度の画像を提供するように設計された高度なマスクおよびウェハ検査装置です。高度な光学技術とイメージング技術を組み合わせ、1ミクロンの解像度で優れた精度と再現性を実現しています。300x300mmステージを搭載し、4〜8インチウェーハや各種マスクプレートなど様々な基板に対応します。自動化された15x対物レンズは、2mmから200mmまで正確に焦点を合わせ、最大80x倍率を提供します。高度なCMOSセンサーは、最大106MP分解能を実現し、より少ない倍率で高精度を実現します。FlatMaster FM200は、あらゆるタイプのマスクおよびウェーハ検査を可能にする多目的でユーザーフレンドリーなユニットです。単一画素の欠陥や色および明るさのピクセル間の変化を検出することができます。それに自動的に粒子、縞、傷、表面の質、腐食、水晶構造、めっき、湿気、漏出およびマスクの整列の間違いを含む欠陥の多数のクラスを、検出する機能があります。これには、調整および校正が可能な誤検出を定義する機能があります。機械には、軸外照明、均一なUV照明、照明の偏光、高度な光学フィルター、高度な熱管理など、最適な性能を確保するための保護機能のスイートが含まれています。また、エッジ検出、オートフォーカス、ノイズ低減、色補正、フラットフィールド補正、強化された品質管理、印刷可能なレポートなど、正確な画像処理を保証するソフトウェア機能も備えています。TROPEL FlatMaster FM200は、さまざまなユーザーフレンドリーなインターフェイスツールも提供しており、オペレータは設定パラメータをカスタマイズし、さまざまな検査のためにプロファイルを保存することができます。このツールには、自動例外レポートなどの継続的なワークフローを提供する機能や、詳細な分析や欠陥の分類のための高倍率の画像を生成する機能も含まれています。このアセットは、自動化されたマスクおよびウェーハ欠陥検出および分析のためのさまざまな高度な機能も提供します。高度なアルゴリズムは、欠陥を正確に識別、分類、定量化するために使用されます。さらに、高度な解析ツールの包括的なスイートは、さまざまな画像ソースからのデータ抽出と分析を可能にします。アクティビティログとマシンプロファイルは、履歴記録の維持と工具性能の効率的な管理を容易にします。