中古 TORAY Inspectra #9313595 を販売中

TORAY INSPTRAは、ウェーハとマスクの両方で表面と地下構造を効果的に測定するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。高度な光学システム、レーザースキャナー、パターン認識アルゴリズムを備えており、幅広い機能を正確かつ正確に測定できます。インスペクトラの中核には、高級レーザー、回折格子、光学レンズからなる特許取得済みの光学、レーザー、スキャナ（OLS）ユニットがあります。この機械はサンプルに変調されたレーザー光のビームを発するように設計されています、そして独特な信号を作り出すためにサンプルの要素と相互作用します。その後、この信号を高解像度のCCDカメラに送り、さらなる分析を行います。TORAY Inspectraのソフトウェアコンポーネントは、パターン認識と画像強化が可能です。アルゴリズムを使用することで、サンプル上の特定の機能が識別され、定量化されます。アプリケーションに応じて、この画像の解釈を使用して、マスクとウェーハの整合性に関連するフィーチャーのサイズ、オーバーレイ、およびその他の重要な特性を決定することができます。さらに、Inspectraにはリアルタイム測定機能が搭載されており、キャリブレーションとクイックイメージキャプチャが可能です。この革新的な技術により、セットアップ時間を最小限に抑えてサンプルの特性を迅速に測定できます。TORAY Inspectraには、分析用のデータを保存できるプロセス監視ツールもあります。この機能を使用すると、時間の経過とともにサンプルの挙動を詳細に調べることができます。全体として、Insptraは効果的で高度なマスクおよびウェーハ検査資産です。革新的なOLSモデル、高度なパターン認識アルゴリズム、リアルタイム測定機能により、特徴サイズ、オーバーレイ、その他の重要な特性を専門的に定量化し、品質管理要件を満たすことができます。