中古 TORAY Inspectra #9137298 を販売中

TORAY Inspectraは、高速かつ包括的な表面欠陥解析を提供する高度な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。半導体デバイス製造、MEMS、ウェーハ計測など、さまざまな用途に有効なツールです。高速フォーカスとハイライトイメージングを利用して、基板の画像をキャプチャし、欠陥を特定します。これは、高速かつ効率的なプロセスを可能にする自動画像取得ユニットを備えています。また、プロファイル、厚さ、均一性など、さまざまな重要なウェーハパラメータを測定できます。ツールの主なコンポーネントは、フォーカスコントローラ、光源、プロセッサ、イメージセンサーです。フォーカスコントローラは、光源とイメージセンサーの位置を制御します。これにより、基板の表面を非常に詳細に分析することができます。光源は、モニター上の画像を表示するために使用され、プロセッサは、所定の欠陥サイズと形状に画像を比較するために使用されます。この資産は、大きな欠陥と小さな欠陥の両方を識別するように設計されています。イメージセンサーは、異なるサイズ、形状、強度レベルの画像をキャプチャすることができ、より正確な検出を可能にします。欠陥検出のしきい値は、ターゲット欠陥サイズに合わせて調整することができます。さらに、このモデルは欠陥検出と解析のためのさまざまなオプションを提供しています。垂直方向と水平方向の両方の欠陥を検出し、それらを組み合わせて正確な決定を行うことができます。また、各方向マニュアルと自動化された2種類の分析も提供します。これにより、ユーザーがデータを分析する方法の柔軟性が向上します。結論として、Insptraは、迅速かつ包括的な表面欠陥解析を提供するマスクおよびウェーハ検査のための効果的で高度なツールです。高速フォーカスとハイライトイメージング機器、画像を分析するためのプロセッサ、欠陥サイズの調整可能な閾値などが特徴です。これは、ファブリケーターにとって素晴らしいシステムであり、大小の欠陥をすばやく特定して分析することができます。