中古 TORAY Inspectra-3000 FR 200 #9157738 を販売中

TORAY Inspectra-3000 FR 200は、高度な半導体製造のために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。マスク、ウェーハ、その他の基材の詳細な解析を行い、欠陥やプロセス特性の非破壊解析を行うように設計されています。このシステムは、フォトマスクを含むさまざまな材料の粒子、ライン、面積、厚さの欠陥を検出することができます。ラインピッチ、不利な発達パターン、粒子や汚染物質、フィルム欠陥など、幅広い欠陥タイプをサポートしています。また、機械的欠陥、表面欠陥、オープンショーツを高解像度で検出することができます。FR 200 Inspectra-3000、解像度1。2×0。9ミクロンの高感度スキャン機と0。7×0。5mmの視野を備えています。検査ニーズに合わせて様々なイメージングオプションを用意しています。立体的な画像構成により、より深みのある画像や空間分解能を得ることができます。これにより、非常に小さな欠陥を検出し、サンプルの光、暗い、灰色の領域の微妙な違いを認識することができます。このツールは、自動アライメント、フォーカシング、エッジ検出機能を備えており、精度を向上させ、セットアップ時間を短縮します。この資産には、ソフトウェアとハードウェアアーキテクチャが簡素化されているため、使いやすく維持できます。ソフトウェアはまた、サンプルの簡単なロードと分析だけでなく、データ分析とレポートを可能にします。また、ダークフィールドイメージング、光学顕微鏡、走査型電子顕微鏡、蛍光、パターン認識など、さまざまなイメージングモードや解析ツールに対応しています。この装置には、自動的にウェーハやフォトマスクの欠陥を解析する画像取得および解析アルゴリズムが装備されています。これにより、プロセスが高速化され、システムの信頼性が向上します。結論として、TORAY Inspectra-3000 FR 200は、材料を効率的かつ正確に検査するための強力なツールです。自動化された機能により、欠陥やプロセス特性の正確な分析と検出が可能になり、高解像度のイメージング機能により、サンプルの特性を詳細に把握できます。