中古 TORAY Inspectra 1000EX-ll 300 #9157736 を販売中
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TORAY Inspectra 1000EX-ll 300は、幅広いデバイスを幅広く検査するために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、正確で信頼性の高い結果を保証するために特許取得済みのSOI技術イメージングを搭載しています。300mm/12インチのウェーハ検査機能と完全な画像解析ツールを使用して、欠陥を迅速に検出します。また、0。1マイクロメートルのx-y-z分解能を実現することができるハイエンドの5メガピクセル色の3Dセンサーを備えています。このユニットは、比類のない光学イメージングマシンを使用して、最大100µmの詳細をキャプチャします。2mm〜16mmのダイナミックステージレンジにより、多層ウェーハの高精度なイメージングを可能にし、精度と細部を向上させます。TORAY INSPECTRA-1000EX-LL 300は、マスクやウェーハの製造工程で発生する粒子欠陥、計測欠陥、カスの不規則な分布、浸漬欠陥など、さまざまな欠陥を検出することができます。これらの欠陥は、SEM/FIB断面イメージングやターゲットレビューなどのイメージング解析機能で特定できます。Inspira 1000EX-ll 300では、レーザーベースのウェーハ歪み測定システムを使用して、ウェーハの整合性の検証を強化しています。このツールは、洗練された3D粒子イメージング技術を使用して表面レベルの歪みを測定することができます。これは、懸念分野の洞察を提供し、改善の機会を特定するのに役立ちます。この資産には、統合された欠陥管理モデルが含まれており、すべてのプロセス手順にわたって効率的な製品欠陥レビューが可能です。この機器は、複数のパスにわたって欠陥を追跡することができ、外部データベースと統合することもできます。INSPECTRA-1000EX-LL 300には、業界標準のWindowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイスも付属しています。複数のユーザーが一度にシステムにアクセスできるため、これまで以上にコラボレーションが容易になります。結論として、東レ検査1000EX-ll 300は、業界をリードする大手メーカーから信頼されている強力で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査ユニットです。高解像度のイメージング機能、効率的な欠陥管理、およびレーザーベースの歪み測定システムを提供します。堅牢なグラフィカルユーザーインターフェイスと組み合わせることで、このマシンはあらゆるマスクおよびウェーハ検査タスクに理想的なソリューションです。
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