中古 TORAY Inspectra-1000EX-F #9353810 を販売中

TORAY Inspectra-1000EX-Fは、フォトマスク、レチクル、リソグラフィーアライメントターゲット、およびウェーハの欠陥を検出するためのマスクおよびウェーハ検査装置です。高速スキャンと高度なアルゴリズムを駆使し、多種多様な欠陥を検出する自動・高精度光学検査を提供します。このユニットには、画像取得用の高解像度CCDカメラと位置決め用のレーザースポット、および検査の強化のための明るいフィールド光源とダークフィールド照明が装備されています。Inspectra-1000EX-Fは、粒子、ピンホール、ボイド、ラインなどの幅広い重要な欠陥を検出することができます。また、高度なパターン認識アルゴリズムなどの高度なアルゴリズムを使用して、重要な欠陥を識別および分類します。リアルタイムの画像解析と欠陥データの統計解析を行う画像解析ユニットを搭載しています。さらに、ライン幅、ダイダイ間隔、CD値などのサブミクロン特性を正確かつ再現可能に測定できます。TORAY Inspectra-1000EX-Fは、検出されたすべての欠陥をクリティカル、メジャー、マイナー、ノイズの4つのカテゴリに分類する欠陥分類機能も備えています。欠陥の分類は、欠陥のサイズ、形状、位置などのユーザー定義の基準に基づいて行うことができます。さらに、このアセットにより、測定値とユーザーが指定したしきい値を正確に比較して欠陥をさらに分類することができます。このモデルには、ウェーハの両側を同時に検査するための自動プログラム、簡単な機器操作のためのインタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）など、いくつかのオプションが用意されています。Inspectra-1000EX-Fには、複数の通信プロトコルと、他の機器とインタフェースするためのさまざまな信号統合コネクタも含まれています。最後に、このシステムは、新しいユーザーの効率的なユニット操作とトレーニングのための使いやすいオペレータトレーニングプログラムによって補完されます。結論として、TORAY Inspectra-1000EX-Fは、幅広い欠陥の信頼性と正確な検出を提供する高度なマスクおよびウェーハ検査機です。このツールは、フォトマスク、レチクル、リソグラフィーターゲット、およびウェーハを正確かつ効率的に検査できるように、自動両面ウェーハ検査や欠陥分類などの複数の機能を備えて設計されています。