中古 TOPCON WM 3 #9236040 を販売中

TOPCON WM 3は、完全自動化されたマスクおよびウェーハ検査装置です。高度な光学検査技術により、マスクとウェハの両方を高精度に検査することができます。このシステムは、最大250mmの視野を持ち、登録、露出パターン、異物、表面汚染物質、粒子、糸および傷に関連するさまざまな欠陥を検出することができます。このユニットはまた、単一のウェーハと複数のウェーハ製品の両方に対応する包括的なフォルト検出ツールを提供しています。高度なスキャンベースのイメージングを採用し、広い視野を迅速に獲得し、最小のプロセス異常を検出することができます。このツールはまた、平面化や透かしなどのオプションのサンプル準備機能を提供し、最も困難な欠陥を確実に検出することができます。マスクとウェーハ検査アセットはユーザーフレンドリーで、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）とコンテキストセンシティブなヘルプが含まれています。GUIを使用すると、機能とタスクの間を素早くナビゲーションでき、オペレータの好みに合わせてさまざまな設定を調整できます。また、自動欠陥許容、自動欠陥マスキング、多機能欠陥ローカライズ、オプションの欠陥分類など、生産性向上のさまざまな機能を提供します。この装置は、特許取得済みのデュアルアーム設計により、信頼性と再現性に優れた検査プロセスを提供します。システムアームにより、欠陥箇所を自動的に追跡し、それらが許容可能かどうかを判断できます。これにより、スループットが向上し、手動の欠陥除去に関連する潜在的なヒューマンエラーが排除されます。また、デュアルアーム設計により、複数のウエハ検査にステップアンドリピート機能を提供し、プロセスの再現性とスループットをさらに向上させます。TOPCON WM-3は、マスク検査とウェーハ検査の両方に対応する包括的なソリューションであり、優れた価値を提供します。その高度な機能、直感的なユーザーインターフェイス、堅牢な設計により、あらゆる本番環境に最適です。