中古 TOPCON WM 2500 #9239634 を販売中

TOPCON WM 2500は、半導体ウェーハの2Dおよび3D計測および欠陥検出を行うために設計されたマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは完全に自動化された超精密検査ユニットであり、幅広い欠陥検出機能を備えた高精度で高速なスループットを実現します。このマシンは、高品質の電動XYZステージ、高度なHigh-NA光学、および自動ウェーハマッピング機能を組み合わせて、ウェーハの動きの誤った登録を防ぎます。この検査ツールは、結節、ピット、ボイド、傷、プルバックなどのさまざまな欠陥を検出することができ、ウェーハ表面のダイシングノッチや粒子などの理想的ではない機能を検出することができます。WM 2500には5メガピクセルのカメラが搭載されており、最大解像度2。5ミクロンの高解像度深度イメージングが可能です。Z軸の電動化により、4インチから8インチまでのさまざまなウェーハサイズを簡単に収容できます。さまざまな厚さのウェーハを検査することができます。これは、さまざまな欠陥を検査するために追加の倍率を必要とするより大きなウェーハを検査する場合に特に役立ちます。アセットのソフトウェアと連動した自動マッピング機能により、露出ごとにウェーハの位置と動きを正確に登録できます。このモデルは、ウェーハ表面全体を自動的にチェックする堅牢なソフトウェアによってサポートされており、理想的ではない前面または背面のあらゆる機能を迅速に検出できます。ソフトウェアはユーザーフレンドリーで、自動化されたプロセスを無限に制御できるため、機器は非常に汎用性が高く効率的です。このシステムは、クリーンルーム環境に簡単に統合でき、完全給電および自動集中機能を備えています。さらに、このユニットは標準のラップトップコンピュータで操作でき、包括的なデータロギングマシンを備えています。TOPCON WM 2500は、ウェーハ検査ニーズに対して信頼性の高い精密なソリューションを提供します。この自動化されたツールは、半導体ウェーハ上の理想的でない機能を迅速かつ正確に検出し、あらゆる製造環境に最適です。