中古 TOPCON WM 2500 #9227183 を販売中

TOPCON WM 2500は、株式会社トプコンが開発したマスク&ウェハ検査装置です。1つのシステムで複数のウエハとマスクパターン解析が可能です。このユニットは、窒化ガリウム（GaN）基板を含むウエハ基板上のパターンアライメントエラーを分析するように設計されています。WM 2500は、ウェーハやマスクの検査作業に様々な機能を利用しています。ワーキングエリアが広いため、ウェーハやマスクパターンのアライメントや表示が容易です。また、高解像度光学、高速デジタル信号処理、3次元レーザーオートフォーカスユニットを備えています。高解像度光学系は、ウェーハやマスクパターンの精密な解析と測定のためにシャープな画像を得ることができます。信号処理ユニットは、高速な画像データ分析と分類を可能にします。レーザーオートフォーカスユニットにより、自動的にフォーカスを測定および調整することができます。このマシンは、包括的な欠陥検査機能も提供します。欠陥はタイプ、サイズ、形および区域に従って分類されます。このツールは、ウェハマップ情報と欠陥サマリーレポートも提供します。欠陥検査データは、次に、プロセス相関のさらなる分析に使用することができます。また、ウェーハやマスクパターンを分析して品質保証や設計を行うこともできます。フィデューシャルマーク、線幅、画像セグメンテーションなどの高精度な測定ツールを備えています。さらに、TOPCON WM 2500には、フォトマスク画像統合や3D画像形成などの高度なイメージング機能が搭載されています。WM 2500はメンテナンスが最小限で、使いやすく構成も簡単です。このモデルはユーザー設定と自動化指図を保存でき、合理化された操作が可能です。これは、簡単な操作と分析のためのさまざまなツールで構成されたソフトウェアスイートが含まれています。結論として、TOPCON WM 2500は、さまざまなマスクおよびウェーハ製造タスクの要件を満たすように設計された汎用性の高いマスク&ウェーハ検査装置です。高解像度光学、包括的な欠陥検査機能、画像解析機能を備えているため、半導体業界にとって非常に貴重なツールとなっています。