中古 TOPCON WM 2500 #293616515 を販売中

ID: 293616515
ヴィンテージ: 2000
Wafer particle inspection system Size: Φ8 2000 vintage.
TOPCON WM 2500は、半導体ウェーハおよびマスクの微細欠陥を検出し、識別するために設計された先進的なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムには、光学リニアアレイ、高度なバイナリオプティクスユニット、組込み計測、および1つのトランジスタのサイズよりも小さい欠陥を検出および分類できる高度な欠陥解析機などの機能と技術が多数あります。WM 2500の中心には光学リニアアレイがあり、数千のピクセルで構成された各イメージと、256レベルの灰色を表す各ピクセルで数千枚の画像をキャプチャして保存します。このツールは、ウェーハ、マスク、またはレチクルの表面の超高解像度の画像を作成し、表面に存在する可能性のある欠陥を特定、分類、定量化するために機能します。また、TOPCON WM 2500には組込み計測機能が搭載されているため、欠陥のサイズを検出し測定するために外部測定機は必要ありません。組込み計測は、1マイクロメートルから数十マイクロメートルのサイズまでの欠陥を検出および測定することができ、統計分析のためにこのデータを収集することができます。WM 2500はまた、高度なバイナリ光学アセットを使用して、結晶欠陥、ラインブレイク、透明または透明粒子などのさまざまな種類の欠陥を検査することができます。また、ボイドや粒子などの大面積の表面欠陥を検査することができ、異なる角度で物体の画像をキャプチャすることができます。最後に、装置は高度な欠陥解析システムを採用することができます。これは、ユーザーがサイズ、明るさ、形状、向き、エッジの鋭さなどのさまざまな特性に基づいて欠陥を識別し、分類するのに役立ちます。このユニットは、単一のトランジスタよりも小さい欠陥を正確に検出して識別することができ、その位置と外観に関する詳細な情報を提供することができます。TOPCON WM 2500は、先進的な光学、計測、欠陥解析装置を備え、半導体企業にとって非常に貴重なツールであり、製品の完全性を脅かす可能性のある欠陥を正確に特定、分類、定量化することができます。
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