中古 TOPCON Vi-4202 #293617669 を販売中
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TOPCON Vi-4202は、強力な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。マスクやウェーハの欠陥を迅速かつ正確に検出できるように設計されています。このシステムは、特定のスキルやトレーニングを必要とせずに、リソグラフィックマスクやウェーハ上のパターン領域と非文字領域の両方を高解像度で検査することができます。機械は肯定的および否定的なマスクを点検するように設計されており、ユーザーに彼らの品質管理プロセスに対する制御の前例のないレベルを提供します。Vi-4202は高度な光学ユニットを備えており、最大100nmの超高解像度でマスクやウェーハからデータを取り込むことができます。このマシンは、マスクまたはウェーハの任意の領域から自由に移動し、データをキャプチャすることができる関節構造を使用しています。また、完全に自動化されたマルチポイントキャリブレーションツールも備えており、データが常に最高品質であることを保証します。このアセットには、ユーザーが欠陥位置や特性評価などのルーチンタスクを自動化できる高度なソフトウェアも装備されています。このモデルは、さまざまなイメージングおよび測定ツールも提供しています。新しい複数の照明装置を使用して、ウェーハのリソグラフィックマスクパターンと非文字領域の両方を測定することができます。このシステムには、検査結果を最適化するために画像の焦点、コントラスト、および明るさを調整するユニークな画像補正ユニットも含まれています。このマシンには、パターンマッチングとアライメント、欠陥位置、欠陥分類、欠陥レビュー、データストレージ、レポート、エラーチェック機能など、その他の機能が豊富に含まれています。これにより、迅速かつ正確な欠陥検出、解析、並べ替えを行うことができ、高い品質管理が可能になります。また、TOPCON Vi-4202のソフトウェアは、ユーザーが3次元パターンでマシンからフォルトデータを表示することができる高度なグラフィカルエイドを提供しています。この機能を使用すると、不具合パターンをすばやく視覚化して特定できます。全体として、Vi-4202は強力で汎用性の高いマスクとウェーハ検査ツールです。その特徴は、マスクとウェーハの迅速かつ正確で包括的な検査を提供することを可能にし、石版マスクの製造における品質管理のための貴重なツールとなります。
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