中古 TOPCON VI-3200 #9157679 を販売中

TOPCON VI-3200は、半導体業界向けに設計された高精度マスク・ウエハ検査装置です。自動化された機能により、システムは迅速かつ正確な欠陥分離で高度な欠陥検出機能を提供します。このユニットは、半導体ウェーハおよびマスク検査の品質と精度の要件を満たすように設計されています。このマシンは、高解像度の光学顕微鏡とレーザー誘導損傷低減（LIDR）技術を備えています。この光学顕微鏡は、ウェーハを精密に検査するために最大1nmの明瞭さと精度を提供し、LIDR技術はウェーハの機能に影響を与える可能性のある重要な欠陥を特定して排除します。高度な画像処理および解析ソフトウェアは、小さなスポットサイズの検出を可能にし、全方向表面欠陥の検出、イメージエッジ検出、ライン欠陥検出、パターンマッチング、および高度なパターン検出機能が付属しています。さらに、このツールは、光学ディスク検出、リフレッシュタイム制御、凹面パターン/凸ピーク解析、膜厚解析、画像要素サイズおよび形状解析、位置パターン認識などの自動測定イネーブラを提供します。VI-3200は、手動SEM表示、プッシュビーム、可変焦点ビーム、動解析などの検査ルーチンもサポートしています。これにより、フリップチップバンプやはんだボールなどの機能や、接着やエッチング率などの金属薄膜の問題を正確に測定することができます。また、ウェーハを完全に認識するための画像ステッチや差動検出にも対応しており、隣接する構造物からの干渉を防ぎます。直感的なユーザーインターフェイスと統合された制御装置により、TOPCON VI-3200は簡単な操作と迅速なパフォーマンスのフィードバックを提供します。高度な機能、高度な検査機能、使いやすさを兼ね備えているため、多種多様な半導体ウェーハおよびマスク検査に最適なソリューションです。