中古 TAYLOR HOBSON TalySurf S5 #9012788 を販売中
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ID: 9012788
Roughness measurement system
Specifications:
Traverse length: 4.72 inch
Straightness of Traverse: Contained within 2 parallel lines spaced 0.5 μm over 4.72 inches traverse, and over any 2.36 traverse
Traverse Speed:
Run up distance required: 0.3 mm max
Measurement speed: 1.0 and 0.5 ,,/sec
Reverse speed 5mm/sec max
Set-up speed: 0.5, 1.0, 2.5, 5.0, 10 mm/sec
Traverse end stops: fixed optical switches
Pick up details
Laser interferometric transducer: Helium/neon laser 632.8 nm
Gauge range: 0.039 inches
Gauges resolution 10 nm with 6mm range
Skid force 70-100 mgf
Analysis:
Form removal: None, Datum, LS, line, MZ line, LS Arc
Form Parameters: Slope (LS line, MZ line) Radius (LS Arc)
Motorized Column & Epoxy Granite Base
Carriage traverse speeds: 0.5, 1.0, 2.5, 5.0, 10 mm/sec
Angular rotation of carriage: 15, 25, 40 min/sec
TAYLOR HOBSON TalySurf S5は、超精密な表面計測および検査用に設計されたマスクおよびウェーハ検査システムです。表面の絶対形状を3次元で正確に定量するために使用できる非接触、非破壊技術です。TalySurf S5には、さまざまなアプリケーションに適したさまざまな機能があります。最大スキャン速度0。1 µm/sの大接触表面領域を備えており、迅速な測定データ取得が可能です。その光学系は高い空間分解能を提供します（パッチは4 µmまでサイズで測定することができます）非常に調節可能で、オペレータに焦点、N。A。、照明等を調節する機能を与えます。ソフトウェアは、特定のユーザーの要件に合わせてカスタマイズすることもでき、オペレータは独自のアルゴリズムとデータ処理技術を特定のアプリケーションに利用することができます。TAYLOR HOBSON TalySurf S5は、干渉法を用いて表面を3次元で測定します。そのソフトウェアは、プロファイル、断面マップ、tiff画像や輪郭などのさまざまな出力フォーマットを提供しています。波長や粗さなどの統計的なサーフェスパラメータを含み、局所的および全球的なサーフェスパターンを識別することができます。TalySurf S5は、手動検査技術よりも多くの利点を提供します。それは人間のオペレータの効果を除去し、測定の間違いの危険を減らし、再現性および再現性の高いレベルを提供します。さらに、接触面積が大きく、スキャン速度が速いため、手動技術よりも効率的であり、比較的短時間で広範囲を測定することができます。全体として、TAYLOR HOBSON TalySurf S5は、高精度、優れた再現性、再現性を必要とする表面計測および検査アプリケーションに最適です。その大きい接触の表面積、調節可能な光学、ソフトウェアのカスタム化、高い空間分解能および速いスキャン率はそれを表面計測および点検のための貴重な用具にします。
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